エッチチャンネル密度の低いウェハーを得るための人工水晶育成方法及びこれによる人工水晶を提供する。例文帳に追加

To provide a method of growing an artificial quartz crystal for obtaining a wafer of a low etch channel density and an artificial quartz crystal by the same. - 特許庁

Ｘ線管と検出器との複数のペアを装備するマルチチューブタイプＸ線ＣＴ装置において、他方のペアのＸ線管からのＸ線に由来する散乱線の影響を低減すること。例文帳に追加

To reduce the influence of scattered radiation originating from X-rays from the X-ray tube of the other pair in an multi-tube type X-ray CT apparatus including a plurality of pairs of X-ray tubes and detectors. - 特許庁

マルチチャンネルＤＶＤオーディオ再生中で全スピーカ出力端子６１ａ〜６１ｆにスピーカが接続されているときは、マルチチャンネルを選択し、その他の場合で、入力オーディオ信号がディジタル及びアナログであるときはそれぞれディジタル及びアナログ（２ｃｈ）を選択する。例文帳に追加

When multichannel DVD audio is under reproduction and all speaker output terminals 61a-61f are connected with speakers, a multichannel is selected and if an input audio signal is digital or analog digital or an analog (2ch) channel is selected, respectively. - 特許庁

Ｘ線管と検出器との複数のペアを装備するマルチチューブタイプＸ線ＣＴ装置において、相手方のＸ線に由来する散乱線の影響を低減すること。例文帳に追加

To reduce the influence of scattered radiation originating in the X-ray of the other party in a multi-tube type X-ray CT apparatus equipped with a plurality of pairs of an X-ray tube and detector. - 特許庁

エンコードｃｈが２ｃｈである場合には、処理制御部１１はサラウンド２２を制御して入力信号に対してマトリクス処理を行い、音声出力をマルチチャンネル化する。例文帳に追加

When the encode ch is 2 ch, the processing control section 11 performs matrix processing of the input signal by controlling a surround 22 to produce a multichannel voice output. - 特許庁

装置は、移送チャンバ１０５と、エッチングチャンバと、計測チャンバ１１０と、エッチングチャンバと計測チャンバとの間で基板を移送するように構成されたロボット１４０とを有するマルチチャンバシステム１００を備える。例文帳に追加

The apparatus includes a multi-chamber system 100 having: a transfer chamber 105; etching chambers; a metrology chamber 110; and a robot 140 which is so constituted that it transfers a substrate between the etching chambers and the metrology chamber. - 特許庁

透過Ｘ線検出器２８から出力される透過Ｘ線の出力レベルに対応するパルス数をマルチチャンネルアナライザ等の計数手段により計数する。例文帳に追加

The number of pulses corresponding to the output level of the transmission X-ray outputted from a transmission X-ray detector 28 is counted by a counting means such as a multi-channel analyzer. - 特許庁

単一の高出力Ｘ線発生装置を用いて、簡易に被検査物の材質を識別することができ、これにより装置を小型かつ安価にでき、かつマルチチャンネル化が容易である高出力Ｘ線用の２段Ｘ線検出器を提供する。例文帳に追加

To provide a two-stage X-ray detector for high-power X-ray which can easily identify material of an object to be inspected using a single high-power X-ray generator, thereby providing a small and inexpensive detector and facilitating multi-channelization. - 特許庁

ＷＤＳのＸ線検出器に接続されている信号処理回路からの出力信号を、ＥＤＳ用として構成されているマルチチャンネルアナライザに入力できるように切換スイッチを設ける。例文帳に追加

A changeover switch is provided so as to input the output signal from the signal processing circuit, which is connected to the X-ray detector of the WDS, to a multichannel analyzer constituted for use in the EDS. - 特許庁

これより育成された人工水晶から切断される目的のウェハー内の線状欠陥は成長表面に平行に存在することから、エッチチャンネル密度の少ない人工水晶を得ることができる。例文帳に追加

The linear defects within the desired wafer cut from the artificial quartz crystal grown in the manner described above exist in parallel to the growth surface and therefore the artificial quartz crystal having the low etch channel density can be obtained. - 特許庁

操作端末１１の画像処理部４１は、Ｘ線画像１５のデータをヒストグラム解析して、読取感度値（Ｓ値）、およびラチチュード（Ｌ値）を算出する。例文帳に追加

The image processing part 41 of the operation terminal 11 executes the histogram analysis of the data of the X-ray image 15 and calculates a read sensitivity value (S value) and a latitude (L value). - 特許庁

多数個の工程チャンバーを多層に直列配置してウェハの移送速度を向上させる等の効果を奏する半導体素子製造用エッチング設備のマルチチャンバーシステムを用いる半導体素子の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a semiconductor element using a multi-chamber system having etching equipment for semiconductor element manufacturing, which has advantages such as higher wafer transfer speed by disposing multiple process chambers serially in multiple layers. - 特許庁

現像欠陥の発生が抑制され、且つ、露光ラチチュード及びラインエッジラフネス性能に優れた感活性光線性または感放射線性樹脂組成物を提供すること。例文帳に追加

To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition that suppresses occurrence of development defects and has excellent exposure latitude and line edge roughness performance. - 特許庁

ＡＶレシーバ４０がＤＶＤプレーヤ４１からの入力を選択しているときには、ディジタル、アナログ（２ｃｈ）、及びマルチチャンネルの切替を自動化する。例文帳に追加

To automate switching of digital, analog (2ch) and multichannel when an AV receiver 40 is selecting an input from a DVD player 41. - 特許庁

感度に優れ、且つ、露光ラチチュード、パターン倒れ、パターンプロファイル、及びラインパターンのラインエッジラフネスが改良されたレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a positive resist composition excellent in sensitivity and improved in exposure latitude, pattern collapse, pattern profile and line edge roughness of a line pattern, and to provide a method for forming a pattern by using the composition. - 特許庁

露光ラチチュード、疎密依存性、ラインエッジラフネスが改善され、且つＥＵＶ光露光に於ける感度、溶解コントラストが改良された感光性組成物、パターン形成方法及び特定の有機酸を提供する。例文帳に追加

To provide a photosensitive composition improved in exposure latitude, thinness-denseness dependency and line edge roughness and improved also in sensitivity to exposure with EUV light and in dissolution contrast, and to provide a pattern forming method and a specific organic acid. - 特許庁

露光ラチチュード及びラインエッジラフネス性能が改善されたポジ型感光性組成物、及びこれを用いたパターン形成方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a positive photosensitive composition which is improved in exposure latitude and line edge roughness performance, and to provide a pattern forming method using the same. - 特許庁

例えば、ＸＹ平面内に、ＲＧＢのＬＥＤを３つ縦配列したマルチチップ型のフルカラーＬＥＤ相互間に白色ＬＥＤ（Ｗ）１つを配置し、これを周期的に繰り返す構成とする。例文帳に追加

For example, one white LED(W) is arranged in the XY plane, in between multichip full-color LEDs where three LEDs of RGB are arranged longitudinally, and this process is repeated periodically. - 特許庁

現像による細線画像のサンドエッヂの発生を防止し、現像ラチチュードを広くすることができる感光性樹脂組成物と感光性転写シートを提供する。例文帳に追加

To provide a photosensitive resin composition capable of preventing the generation of sand edge in a fine line image due to development and extending development latitude and a photosensitive transfer sheet. - 特許庁

人工水晶に発生するエッチチャンネルの抑止方法及び人工水晶の加工方法並びにこれらによる高品位人工水晶、水晶ウェハ及び水晶片例文帳に追加

METHOD FOR CONTROLLING ETCHED CHANNEL GENERATED IN ARTIFICIAL QUARTZ AND METHOD FOR PROCESSING ARTIFICIAL QUARTZ AND HIGH GRADE ARTIFICIAL QUARTZ, QUARTZ WAFER AND QUARTZ PIECE BY THE METHODS - 特許庁

半導体素子の作製に供する複数の真空装置（成膜装置、エッチング装置、熱処理装置、予備室等）を有するマルチチャンバー・システムにおいて、少なくとも１つはレーザー照射装置であることを特徴とする。例文帳に追加

A multi-chamber system, having a plurality of vacuum devices (film forming apparatus, etching apparatus, heat-treatment apparatus, spare chamber, etc.), used for manufacturing a semiconductor element is characterized in that at least one of the vacuum devices is a laser beam irradiation apparatus. - 特許庁

エッチング時の表面荒れが低減されたポジ型レジスト組成物、また更にコンタクトホールパターン形成において解像力及びデフォーカスラチチュードにも優れたポジ型レジスト組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a positive resist composition reduced in surface roughness in etching and a positive resist composition excellent also in resolving power and defocus latitude in contact hole pattern formation. - 特許庁

ＰＥＢ温度依存性、ラインエッジラフネス、露光ラチチュード、及びパターンプロファイルに優れたポジ型レジスト組成物、及びこれを用いたパターン形成方法の提供を目的とする。例文帳に追加

To provide a positive resist composition excellent in PEB temperature dependence, line edge roughness, exposure latitude and pattern profile, and to provide a method for forming a pattern by using the composition. - 特許庁

半導体素子の作製に供する複数の真空装置（成膜装置、エッチング装置、熱処理装置、予備室等）を有するマルチチャンバー・システムである。例文帳に追加

A multi-chamber system has a plurality of vacuum equipment (film forming equipment, etching equipment, heat treatment, preparatory chamber, etc.) which are used for the equipment of a semiconductor element. - 特許庁

本発明の目的は、湿度耐性（線幅差、低湿Ｄｍａｘ）が良好で現像処理ラチチュードに優れ、かつ生保存性（Δカブリ）に優れた熱現像写真感光材料を提供することにある。例文帳に追加

To provide a heat developable photosensitive material having good moisture resistance (small difference in line width and high Dmax at low humidity) and excellent in development latitude and in raw stock preservability (Δ fog). - 特許庁

露光ラチチュードやラインエッジラフネス等の諸性能にすぐれ、さらに液浸露光に適用してもドライ露光時に比較して感度の劣化が小さく液浸液への酸の溶出が極めて少ないレジストを提供する。例文帳に追加

To provide a resist which excels in various performances such as exposure latitude and line edge roughness, undergoes smaller degradation of the sensitivity even when applied to immersion exposure as compared with degradation in dry exposure, and ensures very little leaching of an acid in an immersion liquid. - 特許庁

従来のマルチチャンバシステムは例えば複数のチャンバがエッチング専用チャンバまたはアッシング専用チャンバとして運用されているため、処理時間が長いいずれか一方の処理に時間が掛かり、処理時間の短い方が長い方の処理が終わるのを待つことになり、マルチチャンバシステムの運用効率が悪い。例文帳に追加

To solve problems that the operation efficiency of a conventional multi-chamber system is low because the system uses a plurality of chambers for etching-only chambers or ashing-only chambers, requires much time for one processing of long processing time and makes the other processing of short processing time waiting for the end of the processing of the longer processing time. - 特許庁

広い露光ラチチュード、ラインエッジラフネスの低減、良好なパターン形状及びドライエッチング耐性を満たし、更に現像後の欠陥が少ないパターンを形成することができるポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a positive resist composition satisfying the requirements of wide exposure latitude, reduction in line edge roughness, a desirable pattern configuration and dry etching resistance and giving a pattern with few defects after development, and to provide a method for forming a pattern by use of the above composition. - 特許庁

本発明の信号処理装置では、デコーダ６はオーディオビットストリーム信号４０を５．１ｃｈのマルチチャンネルのデジタルオーディオ信号に分離し、ダウンミックス信号処理手段３はダウンミックス処理により２．１ｃｈのデジタルオーディオ信号に変換する。例文帳に追加

In the signal processing unit of this invention, a decoder 6 separates a digital audio signal of a multi-channel of 5.1 ch from an audio bit stream signal 40 and a down mix signal processing means 3 employs down mix processing to convert the digital audio signal of 5.1 ch into a digital audio signal of 2.1 ch. - 特許庁

多結晶Ｓｉ（ｐｏｌｙ−Ｓｉ）、Ｓｉ酸化膜（ＳｉＯ_２）などにダメージを与えることなく、ゲート絶縁膜として用いられる難溶性の高誘電体材料であるハフニウム酸化膜等に対する選択エッチチングレートが大きく、なおかつフッ酸を含まないエッチング液を提供する。例文帳に追加

To provide an etching solution which does not damage polycrystal Si(poly-Si) and a Si oxide film (SiO_2), has a highly selective etching rate to a hafnium oxide film of a hardly-soluble high-dielectric material used as a gate insulation film, and does not include hydrofluoric acid. - 特許庁

通常露光さらには液浸露光によるパターニングにおいても、現像欠陥が抑制されるとともに、露光ラチチュードが広く、ラインエッジラフネスを抑制できる、優れた感活性光線性または感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。例文帳に追加

To provide an excellent actinic-ray- or radiation-sensitive resin composition suppressing development defect even in patterning by ordinary light exposure and immersion exposure, having a wide exposure latitude and suppressing line edge roughness, and a pattern-forming method to use the composition. - 特許庁

このＬＥＤ光源は、マルチチップ型フルカラーＬＥＤは複数の単色ＬＥＤをＹ方向に一直線上に配列して構成されており、このフルカラーＬＥＤとシングルチップ型白色ＬＥＤとはＸ方向に一直線上に等間隔（ｄ）で配置されている。例文帳に追加

In the LED light source, multichip full color LED is constituted by arranging a plurality of single color LEDs on one line in the Y direction, wherein full-color LEDs and single-chip white LEDs are arranged on a single line, in the X direction at regular intervals (d). - 特許庁

ラインウィズスラフネス等のラフネス性能、露光ラチチュード及び耐ドライエッチング性能に優れたネガ型パターン形成方法、それに用いられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びレジスト膜を提供する。例文帳に追加

To provide a negative pattern formation method that allows excellent roughness performance such as line width roughness, exposure latitude, and dry etching resistance, and an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition and a resist film used for the same. - 特許庁

超微細加工が可能な短波長の露光光源、薄膜化技術及びポジ型化学増幅レジストを用いたリソグラフィー技術にあって、解像力、デフォーカスラチチュード（ＤＯＦ）、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が改善されたポジ型感放射線性組成物を提供すること。例文帳に追加

To provide a positive type radiosensitive composition with its resolution, defocus latitude (DOF) and line edge roughness(LER) improved on the basis of lithographic technology using a shortwave exposure illuminant enabling supermicro-fabrication, a lamination technique and a positive type chemically- amplified resist. - 特許庁

ＤＶＤ等のマルチチャンネル音声が記録されたディスクから取り出したそれぞれのチャンネル出力に対して切換供給スイツチ５１を設け、Ｃｅｎｔｅｒ ｃｈ．その他各チャンネル出力を、どのスピーカー５２〜５６からでも出力可能に構成する。例文帳に追加

A supply switch 51 is provided to respective channel outputs extracted from a disk such as a DVD on which a multi-channel sound is recorded to configure the device where speakers 52-56 can provide outputs of the Center channel and other channels. - 特許庁

微細パターンの形成においても、ラインエッジラフネスが小さく、疎又は密パターン、ライン又はトレンチパターンなど種々のパターンにおいてもデフォーカスラチチュードが広いポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a positive resist composition and a pattern forming method using the same having small line edge roughness even in the formation of a fine pattern, and having a wide defocus latitude even in various patterns such as a sparse or dense pattern, a line or trench pattern, and so forth. - 特許庁

本発明は、多数個の工程チャンバーを多層に直列配置してウェハの移送速度を向上させる等の効果を奏する半導体素子製造用エッチング設備のマルチチャンバーシステムを用いる半導体素子の製造方法の提供を目的とする。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing a semiconductor device using a multi-chamber system which includes etching facilities for manufacturing the semiconductor device with a plurality of process chambers arranged in series in a multi-layered configuration so as to be effectual for improving a wafer transfer rate and so on. - 特許庁

エッチチャンネルが３０本／ｃｍ^２以下の人工水晶から切り出され、水晶のα−β転移温度未満で加熱処理し、水晶種子２０の切り出し時に生じた加工層を除去した水晶種子２０を用いて育成する。例文帳に追加

The quartz is grown by using a quartz seed 20 prepared by cutting out from artificial quartz having not more than 30 etch channels/cm^2, heat treating the cut piece at a temperature lower than the α-β transition temperature of the quartz and eliminating a processed layer produced upon cutting out the quartz seed 20. - 特許庁

本発明は、多数個の工程チャンバーを多層に直列配置してウェハの移送速度を向上させる等の効果を奏する半導体素子製造用エッチング設備のマルチチャンバーシステムを用いる半導体素子の製造方法の提供を目的とする。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing semiconductor devices using a multichamber system of etching facility for manufacturing semiconductor devices, which has effects of increasing a transfer speed of wafers and the like by arranging many process chambers in series in many layers. - 特許庁

ラインエッジラフネス（ＬＷＲ）、露光ラチチュード（ＥＬ）、ＰＥＢ温度依存性及びパターン倒れについて、高次元での両立を可能にしたポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a positive resist composition capable of highly satisfying all of line edge roughness (LWR), exposure latitude (EL), PEB temperature dependency and pattern collapse, and a pattern forming method using the positive resist composition. - 特許庁

マルチチャンネルＱＣＭセンサに適用する発振回路は、振動子Ｘの一方の電極を接地して発振動作を得る接地型発振回路とすることで、複数チャンネルで同時に発振動作させるも電磁波が他のチャンネルに伝播し干渉するのを抑制する。例文帳に追加

A grounded type oscillation circuit, which oscillates in such the state that one electrode of its oscillator X is grounded, is adopted as an oscillation circuit to be applied to a multi-channel QCM sensor, thereby preventing any electromagnetic wave from propagating to another channel and interfering with it although oscillations simultaneously take place on a plurality of channels. - 特許庁

遠紫外光、とくにＡｒＦエキシマレーザー光を使用する上記ミクロフォトファブリケ−ション本来の性能向上技術の課題を解決されたポジ型フォトレジスト組成物を提供することにあり、具体的には、エッジラフネス、耐エッチング性及び露光のラチチュードの優れた遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物を提供することにある。例文帳に追加

To provide a positive photoresist composition for far UV exposure excellent in edge roughness, etching resistance and exposure latitude. - 特許庁

遠紫外光、ＥＵＶ、電子線等、特にＡｒＦエキシマレーザー光を使用するミクロフォトファブリケ−ション本来の性能向上技術の課題を解決すべく、現像性に優れ、且つ、露光ラチチュード及びラインエッジラフネス性能に優れた感活性光線性または感放射線性樹脂組成物を提供すること。例文帳に追加

To provide an actinic ray- or radiation-sensitive resin composition having high developability, exposure latitude and line edge roughness performance to solve a problem of an essential performance improvement technology of microphotofabrication using far-ultraviolet light, EUV, an electron beam, or the like, especially ArF excimer laser light. - 特許庁

入来するマルチチャンネルオーディオ信号を６ｃｈミックス＆マトリクス回路１’で加減ミックスし、それらのチャンネル信号を符号化部２’で予測符号化し、その予測符号化したデータをサンプリング周波数に応じたサンプル数４０，８０又は１６０で量子化し、その量子化したデータを可変又は固定レートで圧縮してパッキングする。例文帳に追加

This voice coding device adds, subtracts, or mixes incoming multi-channel audio signals by a six-channel mix and matrix circuit 1', performs predictive coding of those channels signals by a coding part 2', quantizes the predictive-coded data with the number of samples 40, 80, or 160 according to the sampling frequencies, and compresses and packs the quantized data at a variable or fixed rate. - 特許庁