ドライバレーの英語

高効率で安定してＥＵＶ光を発生させることができるＥＵＶ光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。例文帳に追加

To provide a low cost driver laser system for an EUV light source apparatus which can generate EUV light stably in a high efficiency. - 特許庁

高効率で安定してＥＵＶ光を発生させることができるＥＵＶ光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。例文帳に追加

To inexpensively provide a driver laser system for an EUV light source apparatus capable of stably emitting EUV light with high efficiency. - 特許庁

小型で、レーザ光の増幅を効率良く行うことができ、増幅されたレーザ光の集光性に優るドライバレーザを提供する。例文帳に追加

To provide a compact laser driver which can efficiently amplify laser beam and is superior in the convergence of the amplified laser beam. - 特許庁

出力が比較的大きい露光用の極端紫外光源装置において、ドライバレーザ光の照射に対する除熱を良好に行いつつ、固体のターゲットを高速かつ連続的に供給する。例文帳に追加

To provide an extreme ultraviolet light source for exposure with a relatively large output in which a solid target is rapidly and continuously supplied while carrying out excellently heat removal to the irradiation of driver laser beams. - 特許庁

ほぼ均一な強度で所望のパルス幅を実現できるドライバレーザを用いて、効率的にＥＵＶ光を得ることができる極端紫外光源装置を提供する。例文帳に追加

To provide an extreme ultraviolet light source device capable of efficiently obtaining EUV light with the use of a driver laser capable of realizing a desired pulse width in nearly uniform strength. - 特許庁

ほぼ均一な強度で所望のパルス幅を実現できるドライバレーザを用いて、効率的にＥＵＶ光を得ることができる極端紫外光源装置を提供する。例文帳に追加

To provide an extreme ultraviolet light source device capable of efficiently obtaining EUV light using a driver laser capable of realizing a desired pulse width by roughly uniform strength. - 特許庁

ドライバレーザ発振器２０から出力されるレーザ光を増幅させるための増幅システム３０内に、ドライバパルスレーザ光と実質的に同一の光軸及び同一のビーム径を有するガイドレーザ光が導入される。例文帳に追加

A guide laser beam that has an optical axis and a beam diameter substantially equivalent to those of a driver pulsed laser beam is introduced into an amplification system 30 that amplifies a laser beam that is output from a driver laser oscillator 20. - 特許庁

ドライバレーザから出力されたレーザ光をもとに極端紫外光をバースト出力する極端紫外光生成装置であって、過去にバースト出力された極端紫外光のパラメータログをもとに、バースト出力される極端紫外光の少なくとも１パルス目を含む１パルス以上の先頭側パルスエネルギーのエネルギー制御を行うエネルギー制御部を備えてもよい。例文帳に追加

The extreme ultraviolet light forming device burst-outputs extreme ultraviolet light based on laser light output from a driver laser, and is equipped with an energy control part to energy-control the top side pulse energy of one pulse or more to include at least a first pulse out of the extreme ultraviolet light burst-output, on the basis of a parameter log of the extreme ultraviolet light burst-output in the past. - 特許庁