ファラデーカップの英語

ファラデーカップ電流計及び粒子測定装置例文帳に追加

FARADAY CUP AMMETER AND PARTICLE MEASURING APPARATUS - 特許庁

ファラデーカップ及びそれを有する露光装置例文帳に追加

FARADAY CUP AND ALIGNER PROVIDED THERE WITH - 特許庁

また、可動マスクと同期して移動可能なファラデーカップを取り付ける。例文帳に追加

A Faraday cup movable in synchronism with the movable mask is equipped. - 特許庁

ファラデーカップ・アセンブリ６０は、電荷を収集するファラデーカップ６２と、帯電粒子をファラデーカップ６２まで通過させるアパーチャ７２を有するアパーチャ・アセンブリ７０とを備えている。例文帳に追加

The Faraday cup assembly 60 is equipped with a Faraday cup 62, which collects electrical charge and an aperture assembly 70 equipped with an aperture 72 which enables charged particles to pass through, so as to reach the Faraday cup 62. - 特許庁

このマーク３２Ａを通過した電子ビーム１５が、マーク７０Ａを有するファラデーカップ７０、及びマーク７２Ａを有するファラデーカップ７２に入射し、これらのファラデーカップ７０、７２によって検出される電気量が最大となるときのＸＹステージ６０の位置座標をそれぞれ検出する。例文帳に追加

The electron beam that passes through the mark 32A enters Faraday cups 70 and 72 having marks 70A and 72A, respectively, and detects the position coordinates of an XY stage 60, when the amount of electricity detected by the Faraday cups 70 and 72 becomes maximum. - 特許庁

ステージ２にファラデーカップ５、６を２個設け、各ファラデーカップが用いるゲインの切り替わりパターンが互いに異なるものとして、電流量に応じてどちらかのファラデーカップ５、６を選択して用いることにより、電流量がゲインの切り替わり点付近に来るのを防止する。例文帳に追加

A stage 2 is provided with two Faraday cups 5, 6 the switching patterns of gains used by the respective Faraday cups are made different from each other to selectively use either cup 5, 6 according to current quantity, thereby preventing the current quantity from coming close to a switching point of gains. - 特許庁

ファラデーカップ装置およびイオンドーピング装置ならびに半導体装置の製造方法例文帳に追加

FARADAY CUP EQUIPMENT, ION DOPING SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁