マランゴニの英語

マランゴニ効果を利用したウェーハに乾燥工程において、イソプロピルアルコール液体２２２を加熱して洗浄液の上部に液体状態で供給する。例文帳に追加

In a wafer drying process utilizing the marangoni effect, an isopropyl alcohol liquid 222 is heated and supplied in a liquid phase to the upside of a cleaning liquid. - 特許庁

温水引き上げ乾燥や、マランゴニー乾燥といった、液面より被乾燥基板を引き上げ乾燥を行なう際に発生する水滴残渣をなくし、安定した品質で乾燥を可能とさせる乾燥ジグを提供する。例文帳に追加

To provide a drying jig making drying possible in stable quality by removing a water drop residue which is generated when performing warm water lifting drying and drying by lifting a dried substrate from an oil level called as Marangoni drying. - 特許庁

線状の流体が基板表面に沿って吹き付けられて空気／流体境界線を形成し、線状の蒸気がマランゴニ乾燥を達成するためにこの境界線に供給される。例文帳に追加

A substrate rinse drying device forms an air/fluid interface line by linear fluid blown along the surface of the substrate and linear steam is supplied to the interface line to achieve Marangoni drying by the linear steam. - 特許庁

これにより、液滴４の表面にシリコーンオイルの被膜６が形成されるので、液滴４の表面に抵抗を生じさせることが可能になり、液滴４の内部におけるマランゴニ対流の発生を防止することができる。例文帳に追加

Consequently, since the coating film 6 of the silicone oil is formed on the surface of the liquid droplet 4, resistance is formed on the surface of the liquid droplet 4 so that occurrence of Marangoni convection in the inside of the liquid droplet 4 is prevented. - 特許庁

混合液の表面張力はリンス液（ＤＩＷ）よりも低く、かつＩＰＡよりも高いので基板表面上で急激なマランゴニ対流が引き起こされるのを防止できる。例文帳に追加

Since surface tension of the mixture is lower than that of the rinse liquid (DIW) and higher than that of the IPA, rapid Marangoni convection can be prevented from being caused on the surface of the substrate. - 特許庁

ウェーハの乾燥効率を向上させながら迅速に実施することができるマランゴニ効果を利用したウェーハの乾燥方法及びこれを実施するための乾燥装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method of drying a waferby by utilizing the marangoni effect which quickly dries with improved efficientcy in drying the wafer and a drier. - 特許庁

温度勾配を与えた液体表面近傍における熱毛管力差や温度差マランゴニ効果を利用した熱・物質移動が可能であり、大きな表面張力温度依存性を液体に発現させる。例文帳に追加

To enable heat/mass transfer utilizing the thermal capillary force difference or temperature difference Marangoni effect in the vicinity of the surface of a liquid to which a temperature gradient is imparted and to develop large surface tension temperature dependence. - 特許庁

マランゴニ乾燥に比べて、基板に液滴が残留することをより効果的に防止し、ウォーターマークの発生を抑えることができる基板乾燥装置及び基板乾燥方法を提供する。例文帳に追加

To provide an apparatus and a method for drying a substrate capable of preventing liquid drops from remaining on the substrate to suppress the generation of a water mark more effectively than Marangoni drying. - 特許庁