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リフターピンの英語
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英訳・英語 lifter pin
「リフターピン」を含む例文一覧
該当件数 : 8件
その後、エアシリンダを使用してリフターピンを上昇させることによりリフターピンでウェハを保持し(S107)、ハンドリングアームにより後処理室からウェハを搬出する(S108)。例文帳に追加
Then, lifter pins are elevated using air cylinders to hold the wafer by the lifter pins (S107), and a handling arm carries the wafer out of the post treatment chamber (S108). - 特許庁
また、リフターピン60は、その先端領域より軟質な材料から形成され先端領域を被覆する被覆部を備えている。例文帳に追加
The lifter pin 60 has a covering part formed of material softer than its tip region to cover the tip region. - 特許庁
複数のプレートを積層してなる載置台に設けられるリフターピンの破損や電極の破損を防止することができる。例文帳に追加
To prevent damage to a lifter pin and an electrode provided on a mounting base made of a plurality of stacked plates. - 特許庁
下部電極106をプラズマ処理位置から搬送位置に降下させ,ウェハWをリフターピン130で静電チャック108のチャック面から離しても,ウェハWと導電性のリフターピン130との間で異常放電が生じることがない。例文帳に追加
Then, a lower electrode 106 is descended from a plasma-treating position to the carrying position, and even if the wafer W is separated from the chuck face of the electrostatic chuck 108 by a lifter pin 130, abnormal discharge can be prevented from being generated between the wafer W and the conductive lifter pin 130. - 特許庁
被処理体の基材が誘電体である場合でも、リフターピン用のピン穴に対応した領域とその周囲の領域とにおいてプラズマ処理がほぼ均一となるプラズマ処理装置を提供する。例文帳に追加
To provide plasma treatment equipment wherein plasma treatment in a region corresponding to a pin hole for a lifter pin and a peripheral region of the above region becomes almost uniform in the case that base substance of an object is dielectrics. - 特許庁
基板サイズの変更にに対応でき、リフターピンにより基板を局所的に加熱することがなく、基板に成膜した塗布膜の特性が不均一となることを阻止できる基板加熱装置を提供する。例文帳に追加
To provide a substrate heating device capable of coping with changes in size of substrate, and preventing the characteristics of coated film deposited on the substrate from being uneven without locally heating the substrate with lifter pins. - 特許庁
リフターピンとピン挿通孔の間へのガスの回り込みによる堆積物の付着などの不具合を軽減することのできる新規の被処理体の昇降機構及びこれを備えた処理装置を提供する。例文帳に追加
To provide a novel lifting mechanism of an object to be treated capable of reducing the trouble, such as adhesion of deposit due to wraparound of gas between a lifter pin and a pin insertion hole, and a treatment apparatus equipped therewith. - 特許庁
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「リフターピン」を含む例文一覧
該当件数 : 8件
リフターピン60は、導電性材料から形成され下部電極と同電位とされており、少なくともプラズマが発生している間、下部電極50上に載置されている被処理体90に弾性体の作用により弾性をもって当接している。例文帳に追加
The lifter pin 60 is formed of conductive material, at the same potential as the lower electrode, and made to abut against the member 90 mounted on the lower electrode 50 with elasticity by function of an elastic member at least while a plasma is generated. - 特許庁
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