リベークの英語

ガラス基板５０の温度分布をリフトピン２３の高さにより調整しプリベークすること。例文帳に追加

Prebaking is performed by adjusting a temperature distribution of the glass substrate by the height of a lift pin. - 特許庁

更に、ウェーハＷ上の金属ペーストＰをプリベークし固化させて、レジスト膜６を除去する。例文帳に追加

Further, the metal paste P on the wafer W is prebaked and solidified and the resist film 6 is removed. - 特許庁

その後、ウェハは熱処理装置に搬送されて、プリベーク処理される（工程Ｓ５）。例文帳に追加

Then, the wafer is transferred to a heat treatment apparatus, and prebake treatment is performed (step S5). - 特許庁

基板上に形成された樹脂膜を乾燥むらが生じないように熱処理することができるプリベーク方法およびそのプリベーク方法を具現化できるプリベーク装置並びに表示品位の低下を招かない良好な液晶表示装置をプリベーク工程を経て製造できる方法を提供する。例文帳に追加

To provide a pre-baking method by which a resin film formed on a substrate can be heat-treated so as not to cause uneven drying, and a device by which the pre-bake method can be realized and a method by which a good liquid crystal display device which does not cause deterioration of display quality level can be manufactured though a pre-baking process. - 特許庁

第１の加熱工程では、前記絶縁物１４および半導体基板１２に対してプリベークが行われる。例文帳に追加

In a first heating process, the insulator 14 and the semiconductor substrate 12 are pre-baked. - 特許庁

例えば、溶剤成分除去のための通常プリベーク条件に加え、さらに短時間のベークを行う。例文帳に追加

For example, short time baking is performed in addition to normal prebake conditions for removing solvent component. - 特許庁

揮発性溶媒を含有する樹脂が塗布された基板をリフトピン付きの加熱プレートにてプリベークするにあたって、プリベーク時における樹脂の流動を防止する。例文帳に追加

To prevent resin from flowing, when a substrate coated with resin containing volatile solvent is prebaked with a heat plate having a lift pin. - 特許庁

バキューム・テーブルを備えたプリベーク装置で発生する、熱処理時の吸着状態や接触状態に起因するカラーフィルタ基板の面内で外観上のムラを発生させないプリベーク装置提供する。例文帳に追加

To provide a prebake apparatus preventing generation of unevenness of appearance in a plane of a color filter substrate caused by a suction state or a contact state during heat processing in the prebake apparatus including a vacuum table . - 特許庁