レジスト耐熱性の英語

高温加熱処理時にレジストパターン形状の変形を防止できる耐熱性に優れたホトレジスト組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a photoresist composition so excellent in heat resistance that deformation of a resist pattern can be prevented in heating at high temperature. - 特許庁

優れた耐熱性および接着性を有するフォトレジスト組成物を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a photoresist composition that is superior in heat resistance and adhesiveness. - 特許庁

耐エッチング性および耐熱性に優れた段状のレジストパターンを形成できるようにする。例文帳に追加

To form a step-like resist pattern having excellent etching durability and heat resistance. - 特許庁

ハードベーク工程後のパターン均一性及び耐熱性に優れたフォトレジスト組成物を提供。例文帳に追加

To provide a photoresist composition excellent in pattern uniformity and heat resistance after a hard baking step. - 特許庁

優れたエッチング耐性、耐熱性、および接着性は勿論高集積回路形成が可能なフォトレジストに適する新規のフォトレジスト単量体及びフォトレジスト共重合体とそれらの製造方法、フォトレジスト組成物、フォトレジストパターン形成方法及び半導体素子を提供する。例文帳に追加

To obtain a new compound of a polyalicyclic derivative containing oxygen or sulfur in the cyclic compound, and having hydroxy group, excellent in etching resistance and useful for a photoresist. - 特許庁

炭酸エステル側鎖を含むポリアミド重合体と耐熱性ホトレジスト組成物例文帳に追加

POLYAMIDE POLYMER CONTAINING CARBONIC ESTER SIDE CHAIN AND HEAT RESISTANT PHOTORESIST COMPOSITION - 特許庁

化学増幅型レジストとして特に放射線に対する透明性、ドライエッチング性に優れ、さらに感度、解像度、平坦性、耐熱性等に優れたレジストパターンを与えるネガ型レジスト組成物を提供することにある。例文帳に追加

To provide a negative type resist composition excellent in transparency particularly to radiation and dry etching resistance as a chemical amplification type resist and giving a resist pattern excellent in sensitivity, resolution, flatness, heat resistance, etc. - 特許庁

優れたリソグラフィー特性および耐熱性を有するポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。例文帳に追加

To provide a positive resist composition having excellent lithography characteristics and heat resistance, and to provide a resist pattern forming method using the positive resist composition. - 特許庁