レーザー干渉計の英語

基板の位置をレーザー干渉計で求める際の再現性を改善すること。例文帳に追加

To improve repeatability when determining a substrate position by a laser interferometer. - 特許庁

空調管理された空間で用いられるレーザー干渉計の測定精度を上げること。例文帳に追加

To enhance measurement precision of a laser interferometer used in an air conditioned space. - 特許庁

複数のレーザー干渉計を用いてステージ位置を計測する際の、干渉計の切り替え動作時に波長補正を正しく継承し、位置ずれを低減すること。例文帳に追加

To provide a stage device which allows respective interferometers to take over wavelength compensation correctly upon making a changeover action to reduce a position shift when the position of a stage is measured using a plurality of laser interferometers. - 特許庁

レーザー光が透過することが出来る薄膜光センサーを用いたレーザー干渉計とこれを使用した変移、速度センサー例文帳に追加

LASER INTERFEROMETER USING THIN FILM OPTICAL SENSOR WHICH CAN TRANSMIT LASER LIGHT, AND DISPLACEMENT, VELOCITY SENSOR USING THE SAME - 特許庁

少なくとも一つのレーザー干渉計（２４）は、測定ビーム（２３）を移動要素（９、２０）に向ける。例文帳に追加

At least one laser interferometer 24 is directed its measuring beam 23 into the transfer elements 9, 20. - 特許庁

基板支持装置４１は、レーザー干渉計システム２９と、可動なステージ構造物４２と、可動なステージ構造物に固定され、レーザー干渉計システムのレーザービームを反射するステージミラー４３と、を備える。例文帳に追加

The substrate support device 41 comprises a laser interferometer system 29, a movable stage structure 42, a stage mirror 43 fixed by the movable stage structure for reflecting laser beams of the laser interferometer system. - 特許庁

レーザー干渉計３２ａ，３２ｂが副ステージベース１１ａ，１１ｂの振動の影響を受けず、レーザー干渉計３２ａ，３２ｂから主ステージベース１１上の各移動ステージまでの測定距離が短くなる。例文帳に追加

The laser interferometers 32a, 32b are not influenced by vibration of the sub-stage bases 11a, 11b, and a measurement distance from the laser interferometers 32a, 32b to each moving stage on the main stage base 11 is reduced. - 特許庁

各種大きさの被計測物の面精度を高精度、高能率で計測するレーザー干渉計での面精度計測保持具を提供する。例文帳に追加

To provide a profile irregularity measurement holder with a laser interferometer measuring with high accuracy and high efficiency, the profile irregularity of objects to be measured with various sizes. - 特許庁