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予備部品の範囲の英語
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英訳・英語 spares range
「予備部品の範囲」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
リソグラフィー投影装置において使用する光学部品の予備洗浄または、元の状態にもどす洗浄は、光学部品をマイクロ波および／または赤外線放射線で照射することで行うことができ、１０００ｃｍ^-1〜４６００ｃｍ^-1の範囲の、ある波長あるいは、ある範囲の波長を有する赤外線放射線が好ましい。例文帳に追加
Pre-cleaning or in situ cleaning of optical components used in a lithography projection apparatus can be made by irradiating the optical components with microwave and/or UV radiation, preferably UV radiation having a wavelength or a range of wavelengths in a range from 1000 cm^-1 to 4600 cm^-1. - 特許庁
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spares range
英和専門語辞典
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