五塩化タンタルの英語

タンタル化合物としては五塩化タンタルが好ましい。例文帳に追加

Tantalum pentachloride is preferred as a tantalum compound. - 特許庁

タンタル化合物としては、ハロゲン化タンタルが好ましく、具体例として、五弗化タンタル、五塩化タンタル、五臭化タンタルまたは五沃化タンタル等が挙げられ、好ましくは五塩化タンタルまたは五臭化タンタルである。例文帳に追加

As the tantalum compound, a tantalum halide is preferred and specifically, tantalum pentafluoride, tantalum pentachloride, tantalum pentabromide or tantalum pentaiodide can be mentioned, and tantalum pentachloride or tantalum pentabromide is preferred. - 特許庁

半導体ウエハ等の被処理体Ｗの表面に、タンタル酸化膜などのゲート酸化膜８を堆積するに際して、原料として常温で固体の五塩化タンタルを溶媒、例えばジエチル硫黄に配位結合状態で溶解させて、これを気化して処理室へ供給する。例文帳に追加

For depositing a gate oxide film 8, such as tantalum oxide film, etc., on the surface of a work W such as semiconductor wafer, etc., a raw material of tantalum pentachloride solid at room temperature is dissolved in a solvent, e.g. diethyl sulfur in a coordinate bond condition, and it is vaporized and fed into a processing chamber. - 特許庁

メチルアルコール、エチルアルコール等のアルコール、塩化第一スズ、臭化第一スズ等のスズ化合物、及び三塩化アンチモン、五塩化タンタル等の周期律表第Ｖ族元素化合物を溶解する紡糸液を相対湿度４０％以下の雰囲気下で紡糸し、ついで加熱処理し、長さのある導電性酸化スズファイバーを製造する。例文帳に追加

A liquid for spinning in which alcohols such as methyl alcohol and ethyl alcohol, tin compds. such as tin chloride and tin bromide, and group V element compds. such as antimony trichloride and tantalum pentachloride are dissolved is spun in an atmosphere of <40% relative humidity and then heat treated to produce a conductive tin oxide fiber of certain length. - 特許庁