位置感応検出装置の英語

露光装置は、感応基板２３のＺ軸方向位置を検出する検出器と、感応基板２３のＺ軸方向（ビーム軸方向）位置を補正するステージ２４と、投影光学系のフォーカスを補正する補正レンズとを備える。例文帳に追加

The aligner is provided with a detector for detecting the Z axis position of a sensitive substrate 23, a stage 24 for correcting the Z axis (beam axis) position of the sensitive substrate 23, and a lens for correcting focus of a projection optical system. - 特許庁

湾曲ＰＳＰＣ（Position Sensitive Proportional Counter：位置感応型Ｘ線検出器）を用いたＸ線回折装置において、試料の応力測定のごとく高角度領域にあらわれる回折Ｘ線についても検出できるようにする。例文帳に追加

To enable detection for diffraction X rays as well appearing in a higher angle region as in the measurement of the stress of a sample in the X-ray diffraction apparatus using a curved PSPC(Position Sensitive Proportional Counter). - 特許庁

レチクルのパターンを感応基板上に転写する荷電粒子線露光装置において、前記レチクルの位置測定を行う位置測定手段により、前記レチクルの破損部位の検出を行うことを特徴とする。例文帳に追加

In the charged-particle beam exposure device transferring the pattern of the reticle on a sensitive substrate, the damaged site of the reticle is detected by a position measuring means measuring the position of the reticle. - 特許庁

少なくとも１個のパターンが取り付けられ、物理量の強度に感応する少なくとも２台のプローブが配置された磁気ギャップを画成するように搭載された移動目標の少なくとも位置を検出し、パターンがプローブの正面を通過する毎に、目標の運動がプローブによって検出される物理量の強度に変化を生じさせる装置に関する。例文帳に追加

This invention is about the device with at least a pattern attached for detecting at least a position of a mobile target mounted so that a magnetic gap provided with at least two probes for responding strength of physical quantity is partitioned wherein target motion changes strength of physical quantity detected by the probes every time the pattern passes in front of the probes. - 特許庁