処理用デュプレックスの英語

触媒などの化学的処理によってＣＶＤ法で金属薄膜を蒸着するときに化学的処理を均一に行なえるようにすることで、金属薄膜のステップカバレッジ、蒸着速度、テクスチャ、接着特性などを改善することができるデュプレックスゾーンシャワーヘッド及びこれを適用するケミカルエンハンストＣＶＤ装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a duplex zone showerhead with which step coverage of the metal thin film, vapor deposition speed, texture, adhesion characteristic or the like can be improved by uniformly carrying out the chemical treatment when a metal thin film is vapor-deposited by a CVD method with chemical treatment using a catalyst or the like and to provide a chemical-enhanced CVD using the same. - 特許庁