制御キャリヤーの英語

器具から放出されるレーザー・ビームを発生する手段を持つ器具用のアタッチメントは、器具上に搭載された本体構造と、本体構造によって支持されたキャリヤーとを有し、キャリヤーは複数の制御位置に移動可能であり、従ってそれぞれレーザー・ビームの経路に存在できるレーザー・ビーム変更手段を持つ。例文帳に追加

An instrument attachment having a means which generates a laser beam to be emitted out of an instrument has a main body structure mounted on the instrument and a carrier supported by the main body structure and the carrier is capable of moving to a plurality of control positions, so that a laser beam changing means which can be present in the paths of the laser beams is obtained. - 特許庁

該装置は、回転研磨プラテンと、回転研磨プラテンの表面にスラリーを供給するスラリー供給システムと、ウエハーを保持し回転させると共にウエハーの表面をスラリーと回転研磨プラテンとに接触させて化学機械研磨工程を行うのに用いられる回転キャリヤーと、ウエハーの表面の異なる位置の研磨率に基づいて対応する圧力分布を前記ウエハーの表面に提供する圧力制御回路とからなる。例文帳に追加

The pressure control circuit effects a pressure distribution on the outer surface of the wafer in accordance with polishing rates at various positions on the surface of the wafer. - 特許庁

気化させた原料をキャリヤーガスとともに大気開放下に加熱された基材表面に吹付けて基材表面に酸化物膜を堆積する大気開放型化学気相析出法において、反応空間場に電界を印加することを特徴とする基材表面に形成する酸化物膜の構造を制御する。例文帳に追加

In the open-to-atmosphere type chemical gas phase deposition method to deposit the oxide film on the substrate surface by blowing a gasified raw material together with a carrier gas on the substrate surface heated in open to atmosphere, it is featured that the structure of the oxide film deposited on the substrate surface is controlled by imparting an electric field to a reaction space field. - 特許庁