化学反応による気相成長の英語

半導体処理反応器部品２００のホール２１０は、大気圧化学気相成長のような方法による保護コーティングの成膜を促進するようなサイズを有する。例文帳に追加

Holes 210 in semiconductor processing reactor components 200 are sized to facilitate deposition of protective coatings, such chemical vapor deposition at atmospheric pressure. - 特許庁

金属化合物を前駆体として使用し、水と酸とをそれぞれ気化させたガスを反応性ガスとして使用する化学気相成長法による酸化物又は複合酸化物からなる薄膜の製造方法。例文帳に追加

The method for producing a thin film consisting of oxide or multiple oxide is performed by a chemical vapor deposition method in which a metallic compound is used as a precursor, and gas obtained by respectively vaporizing water and acid is used as a reactive gas. - 特許庁

化学気相成長法により段差部を有する半導体デバイス基板上に金属薄膜を形成する方法において、原料ガスと反応性ガスを交互に前記半導体デバイス基板上に導入して、化学気相成長を行い、この化学気相成長を繰り返し行うことにより所要の膜厚の金属薄膜を前記半導体デバイス基板上に形成することを特徴とする化学気相成長による金属薄膜形成方法。例文帳に追加

The method for forming the tin film by chemical vapor deposition introduces alternately a raw gas and a gas activated by an activating means, onto the substrate, and conducting the chemical vapor deposition on it, in a process for forming the thin film on the substrate by chemical vapor deposition, and forming the thin film having the required film thickness on the above substrate through repeating the chemical vapor deposition. - 特許庁

化学気相成長法による繊維状炭素を製造する方法において、有機溶剤に少なくともメラミン誘導体を溶解したものを原料として用いて、該原料を反応容器内へ噴霧導入することを特徴とする繊維状炭素の製造方法。例文帳に追加

The method for manufacturing the fibrous carbon by the chemical vapor deposition method comprises using a material in which at least a melamine derivative is dissolved in an organic solvent as a raw material, and spraying and introducing the raw material into the reaction container. - 特許庁

化学気相成長法による繊維状炭素を製造する方法において、繊維状炭素合成のための安定した反応場を作り出すことにより、効果的な窒素含有化合物の添加を可能とし、反応容器や繊維状炭素の汚染を軽減するとともに繊維状炭素を高効率で合成する方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a fibrous carbon by a chemical vapor deposition method which can effectively add a nitrogen-containing compound by forming a stable reaction site for synthesizing the fibrous carbon and which can synthesize the fibrous carbon with high-efficiency with reduced contamination of a reaction container and the fibrous carbon. - 特許庁