厚膜導波路の英語

基板１と光導波路構造層１０との間には、カプラー層が配置され、光導波路４の下部の領域におけるカプラー層の膜厚分布範囲は、最小膜厚３０オングストローム以上、最大膜厚２００オングストローム以下の範囲である。例文帳に追加

A coupler layer is disposed between the substrate 1 and the optical waveguide structure layer 10, and the film thickness distribution range of the coupler layer in the region below the optical waveguide 4 is such that the minimum film thickness is ≥30 angstroms and the maximum film thickness is ≤200 angstroms. - 特許庁

この方法により、シリコン基板上に、厚膜の二酸化シリコン膜により形成される、クラッド層に埋め込まれた光導波路を生成する。例文帳に追加

By this method, a light guide embedded in a clad layer is formed on a silicon substrate with a thick silicon dioxide film. - 特許庁

より低温で実用レベルの膜厚と屈折率の均一な導波路膜を、径の大きい円形基板においても形成できるようにする。例文帳に追加

To form film thickness in the practical level and a waveguide film having a uniform refractive index at a lower temperature even in a circular substrate having a large diameter. - 特許庁

光導波路として、シリコン基板上に厚さ１０μｍ以上の酸化膜を形成する際に、不純物もしくはパーティクルなどの汚染を防止した光導波路膜の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a manufacturing method of an optical waveguide film prevented from being contaminated by impurities or particles when an oxide film having 10 μm or more thickness is formed on a silicon substrate as the optical waveguide. - 特許庁

選択成長で作製されるマイクロアレイ導波路の各アレイ内導波路の精密な組成分布及び膜厚分布を実現することができる、半導体光素子の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a semiconductor optical element, capable of realizing a precise composition distribution and a film thickness distribution of a waveguide in each array of a micro-array waveguide manufactured by a selective growth. - 特許庁

そして、基板１上の、光導波路２を構成する第１及び第２の分岐光導波路３−１及び３−２の少なくとも一部において、光導波路よりも高実効屈折率の材料からなる膜体６を、前記光波の波長の１／４以下の厚さとなるように形成する。例文帳に追加

At least part of 1st and 2nd branch optical waveguides 3-1 and 3-2 constituting the optical waveguide 2 on the substrate, a film body 6 of a material having a higher effective refractive index than the optical waveguide is formed to thickness less than a quarter as large as the wavelength of the light wave. - 特許庁

厚膜形成性，硬化性，耐熱性等に優れた光導波路形成用樹脂組成物およびその製法、ならびにそれを用いた光導波路を提供する。例文帳に追加

To provide a resin composition for an optical waveguide, having excellent thick membrane-forming properties, curability, heat resistance, etc.; to provide a method for preparing the composition; and to provide the optical waveguide using the composition. - 特許庁

これにより、ビーム入出射カプラは、平面導波路上に薄膜形態に集積されて光ヘッドの厚さを大幅に狭めることができる。例文帳に追加

Thereby, the beam input/output coupler is integrated as a thin film on the planar waveguide and thickness of the optical head can be substantially reduced. - 特許庁