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原子吸光体分析の英語
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気体中の浮遊粒子の原子吸光分析方法および装置例文帳に追加
ATOMIC ABSORPTION ANALYSIS METHOD AND APPARATUS OF SUSPENDED PARTICLES IN AIR - 特許庁
気相分解法を用いた原子吸光分析による半導体ウエハ表面の不純物測定において、より正確な不純物分析を行うことができる半導体ウエハ表面の不純物測定方法及び装置を提供する。例文帳に追加
To provide a method and an apparatus for measuring impurities on the surface of a semiconductor wafer capable of more accurately analyzing the impurities in the measurement of the impurities on the surface of the wafer by an atomic absorption spectrometry using a vapor-phase decomposition method. - 特許庁
金属不純物を希硝酸5の中に再溶解させた後、液滴を回収し、原子吸光分析法あるいは誘導結合プラズマ質量分析法によって半導体基板表面上に存在する極微量金属不純物の種類および量を測定する。例文帳に追加
After dissolving again the metal impurities in the dilute nitric acid 5, the liquid drops are recovered to measure the kinds and quantities of the trace amount of metal impurities existent on the surface of the semiconductor substrate 1 by atomic absorption method or inductively coupled plasma/mass spectrometry. - 特許庁
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※この記事は「北里大学医療衛生学部 医療情報学研究室」ホームページ内の「医学用語集」(2001.06.10. 改訂)の情報を転載しております。 |
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