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図形寸法精度の英語
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英訳・英語 pattern accuracy
「図形寸法精度」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
計測子の数の問題と無関係に,かつ,寸法の異常についても認識でき,高精度に被検図形の欠陥を検出できるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供すること。例文帳に追加
To obtain an apparatus and a method, for the inspection of a pattern, in which even abnormality of size can be recognized, irrespective of the problem of the number of measuring elements and in which the defect of a graphic to be inspected can be detected with high accuracy. - 特許庁
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