基板自動移載装置の英語

不活性ガスによる移載室のパージが自動的になされる基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate processing apparatus in which a transfer chamber is automatically purged by means of inert gas. - 特許庁

ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。例文帳に追加

To provide a transfer device for efficiently transferring a substrate in a non-contact state at high speed with positional accuracy of a hand portion when the substrate is sucked and held by a Bernoulli chuck held not strict and automatically positioning the sucked and held substrate by the substrate itself. - 特許庁

熱処理時のセッターガラス上のガラス基板の位置ずれを一定範囲内に抑えて、自動移載装置によるハンドリングミスの発生を防止する。例文帳に追加

To suppress positional deviation of a glass substrate on a setter glass within a fixed range in heat treatment time, and prevent the occurrence of a handling mistake by an automatic transfer device. - 特許庁