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大気汚染計測装置の英語
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英訳・英語 air pollution measurement device
「大気汚染計測装置」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
基板に塗布されたレジストにレーザ光を照射する際に発生するアウトガスによる光学部品の光学特性の変化を、プレートが大気中で汚染されることなく計測することができるレジストアウトガス計測装置を提供する。例文帳に追加
To provide a resist outgas measuring instrument which can measure change of optical characteristic of an optical component due to outgas produced when resist applied to a substrate is irradiated with laser beam without contamination of a plate in the air. - 特許庁
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air pollution measurement device
JST科学技術用語日英対訳辞書
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