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対向ターゲット型スパッタリング装置の英語
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より信頼性の高い成膜を可能とする対向ターゲット型のスパッタリング装置、及び液晶装置の製造方法を提供する。例文帳に追加
To provide a counter target type sputtering apparatus capable of forming a film having higher reliability, and to provide a method of manufacturing a liquid crystal device. - 特許庁
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