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低誘電率特性が良好で第1の絶縁膜と第2の絶縁膜との密着性がよく、しかも第1の絶縁膜と第2の絶縁膜の形成を同一の装置内で行うことができ、更に第2の絶縁膜の材料の選択範囲を広げることができる絶縁膜形成方法及び絶縁膜形成装置の提供。例文帳に追加
To provide a method and apparatus for forming an insulating film for forming a first insulating film and a second insulating film having satisfactory low directivity characteristics and satisfactory adherence between the first insulating film and the second insulating film in the same apparatus, and for widening the selection range of the materials of the second insulating film. - 特許庁
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