弗化セリウムの英語

フォトリソグラフィ用露光装置などのステッパーレンズ材料である弗化カルシウムや弗化バリウムなどの高純度弗化物（高純度弗化物は、弗化カルシウムおよび弗化バリウムの限りではない）、また光ファイバーやコーティング材料などに使用されている弗化イッテルビウムや弗化セリウムなどの希土類弗化物に含まれる酸素・炭素成分を低減する方法を提供する事。例文帳に追加

To provide a method for reducing oxygen and carbon components contained in high purity fluorides, such as calcium fluoride, barium fluoride used as a material for a stepper lens of an exposure device for photolithography, or the like, or in rare earth fluorides such as ytterbium fluoride, cerium fluoride, used as a material for an optical fiber, a coating material, or the like. - 特許庁

弗素系や塩素系等のハロゲン系ガスやプラズマに曝されるセラミック部材を、酸化セリウムを３〜１００００重量ｐｐｍの範囲で含有する相対密度が９９％以上のイットリウム・アルミニウム・ガーネット質焼結体により形成する。例文帳に追加

A ceramic to be exposed to chlorine- or fluorine-based halogen- related gas and exposed to a plasma is made of yttrium-aluminum-garnet-based sintered material containing cerium of 3 to 10000 wt.ppm with relative density of 99% or above. - 特許庁