明瞳の英語

本発明の照明光学系は、照明瞳に形成される瞳強度分布（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ）を補正する補正ユニット（８）を備えている。例文帳に追加

A lighting optical system includes a correction unit (8) which corrects pupil intensity distributions (20a, 20b, 20c, and 20d) formed at a lighting pupil. - 特許庁

本発明の照明光学装置（１〜１２）は、光源（１）からの光束に基づいて照明瞳面上に瞳光強度分布を形成し、該照明瞳面を通過した光束を用いて被照射面（Ｍ）を照明する。例文帳に追加

The illumination optical device (1-12) forms the pupil light intensity distribution on an illumination pupil plane, based on the flux of light from a light source (1), and illuminates an illuminated plane (M) by using the flux of light which has passed through the plane of illumination pupil. - 特許庁

本発明が適用される光学系は、アジムス方向によって異なる瞳像位置もしくは瞳形状を有する、例えば、斜入射光学系や瞳像までの光学系で偏心光学系を有する光学系において、アジムス方向ごとの瞳位置と瞳形状に合わせた遮光手段を設ける。例文帳に追加

The optical system to which this invention is applied is provided with the light shielding means matched to pupil positions and pupil shapes by every azimuth direction in an optical system having pupil image positions or the pupil shapes different according to azimuth directions, for example, a slanting incident light optical system, an optical system to the pupil image and having an eccentric optical system. - 特許庁

光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（２〜１２）は、照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３〜８）と、照明瞳を含む照明瞳空間に配置された補正ユニット（９）とを備えている。例文帳に追加

Lighting optical system (2-12), which illuminates illuminated surfaces (M;W) with the light from a light source (1), includes: distribution formation optical system (3-8) which forms pupil intensity distribution in lighting pupil; and a correction unit (9) which is arranged in a lighting pupil space containing the lighting pupil. - 特許庁

光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（２〜１２）は、オプティカルインテグレータ（８）よりも後側の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３〜８）と、照明瞳を含む照明瞳空間に配置された補正ユニット（９）とを備えている。例文帳に追加

The Illumination optical systems (2 to 12) which light up the surface (M;W) to be irradiated with light from a light source (1) include: distribution formation optical systems (3 to 8) which form pupil intensity distributions on a lighting pupil behind an optical integrator (8); and a correction unit (9) disposed in a lighting pupil space including the lighting pupil. - 特許庁

光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（２〜１２）は、照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３〜８）と、照明瞳を含む照明瞳空間に配置された補正ユニット（９）とを備えている。例文帳に追加

This illumination optical system (2-12) for illuminating the irradiation object surface (M; W) with light from a light source (1) includes: a distribution forming optical system (3-8) for forming a pupil intensity distribution in an illumination pupil; and a correction unit (9) arranged in an illumination pupil space including the illumination pupil. - 特許庁

光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（２〜１２）は、照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３〜８）と、照明瞳を含む照明瞳空間に配置された補正ユニット（９）とを備えている。例文帳に追加

Lighting optical systems (2-12) for lighting lit surfaces (M;W) with the light from a light source (1) include distribution formation optical systems (3-8) for forming a pupil intensity distribution at lighting pupil, and a corrective unit (9) arranged in the lighting pupil space containing the lighting pupil. - 特許庁

小型かつ簡易な構成で、照明側の瞳変調を容易に実現する。例文帳に追加

To easily achieve pupil modulation on an illumination side with a compact and simple structure. - 特許庁