渦電流式厚さ測定法の英語

本発明は、リフトオフ時の板厚の測定精度をさらに向上することができる渦電流式非磁性金属膜厚測定方法及びそれを実施するための渦電流式非磁性金属膜厚測定装置を提供することにある。例文帳に追加

To provide a method for measuring an eddy-current type nonmagnetic metal film thickness which can improve the accuracy of measuring a plate thickness in the case of lift-off, and to provide an apparatus for measuring the same for performing the method. - 特許庁

電極１１と、電極１１上に設けられた絶縁膜１５と、を有する静電チャック１００の管理方法であって、渦電流式膜厚測定器２００を用いて、絶縁膜１５の膜厚を測定し、測定された絶縁膜１５の膜厚値と予め設定された基準値とを比較する。例文帳に追加

The method of managing an electrostatic chuck 100 including an electrode 11 and an insulating film 15 provided on the electrode 11 uses an eddy-current-type film thickness measuring device 200 to measure the film thickness of the insulating film 15, and compares the measured film thickness value of the insulating film 15 with a previously set reference value. - 特許庁