紫外放射変化の英語

極端紫外光の放射強度分布のみが変化している場合は、放射強度分布変化の原因はスズが集光鏡の反射面に付着しためであるとして集光鏡２のクリーニングを行う。例文帳に追加

When only the radiation intensity distribution of the extreme ultraviolet light varies, cleaning of the condenser mirror 2 is carried out by recognizing the deposition of tin on a reflection surface of the condenser mirror as a cause of the variation of the radiation intensity distribution. - 特許庁

また、極端紫外光よりも長波長の光の放射強度分布も変化している場合は、放射強度分布変化の原因は光軸のずれが生じているためであるとして、放電部と集光鏡の位置合せ（アライメント）等を行なう。例文帳に追加

When the radiation intensity distribution of light having a wavelength longer than the extreme ultraviolet light varies, positioning (alignment) or the like of a discharge portion and the condenser mirror is carried out by recognizing the shift of an optical axis as a cause of the variation of the radiation intensity distribution. - 特許庁

線量算出部８０は、出力パルスの数、蛍光の変化量および紫外線照射量に基づいて素子１０に照射された放射線線量を算出する。例文帳に追加

The dose calculation section 80 calculates the dose of the radiation emitted on the element 10 on the basis of the number of the output pulse, the change amount of the fluorescence and the irradiation amount of the ultraviolet rays. - 特許庁

極端紫外光の放射強度分布の変化が、集光鏡の光反射率が低下したことに起因するか、発光点が移動して光軸がすれたことに起因するかを判別すること。例文帳に追加

To determine whether variation of radiation intensity distribution of extreme ultraviolet light is caused by a decrease of light reflectivity of a condenser mirror or for a shift of an optical axis by movement of a light emitting point. - 特許庁

真空紫外波長領域の分光測定において、測定環境が真空紫外波長領域の放射を吸収しにくい気体で充填された状態であっても、極微量に残存するＯ_2濃度のために生ずる放射束の伝播量の時間的、空間的変化を受け難くし、高精度な分光測定を行えるようにするものである。例文帳に追加

To provide a vacuum ultraviolet spectral measuring device hardly affected by the time and spatial change of the propagation of radiation flux caused by the concentration of a very small amount of remaining O_2 even under a condition that the measuring environment is filled with a gas hardly absorbing the radiation of a vacuum ultraviolet wavelength area in the spectral measurement of the vacuum ultraviolet wavelength area, and to perform the spectral measurement of high accuracy. - 特許庁

他の成分との相溶性も良好な化合物を含有し、特に遠紫外線に有効に感応する化学増幅型ポジ型レジストとして、放射線透過率を最適にコントロールすることができると共に、特に、高反射基板上でのレジスト被膜の膜厚変動によるレジストパターンの線幅変化を有効に抑えることが可能で、かつ焦点深度余裕にも優れたポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a positive radiation-sensitive resin composition which contains a compound good also in compatibility with other components, can optimally control radiation transmittance particularly as a chemically amplified positive resist effectively sensitive to far-ultraviolet radiation, in particular, can effectively suppress a linewidth change of a resist pattern due to a thickness variation of a resist film on a highly reflecting substrate, and excels also in depth of focus latitude. - 特許庁

アントラセン系カルボン酸成分を含有し、遠紫外線用として、高反射基板上でのレジスト被膜の膜厚変動によるレジストパターンの線幅変化を有効に抑えることが可能なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a positive-radiation-sensitive resin composition containing an anthracene-based carboxylic acid component and capable of effectively controlling line width variation in resist patterns due to fluctuation in the resist film thickness on a highly reflective substrate as a composition for deep ultraviolet rays. - 特許庁