絶縁膜特性の英語

ゲート絶縁膜に対するチャージダメージを抑止しつつ、ギャップフィル特性のよい層間絶縁膜をゲート絶縁膜上に形成する。例文帳に追加

To provide an interlayer insulating film having a satisfactory gap-fill performance on a gate insulating film by suppressing a charge-damage to the gate insulating film. - 特許庁

低誘電率、低エッチングレート、高絶縁性の特性を備える絶縁膜を形成する。例文帳に追加

To form an insulator film having such characteristics as low dielectric constant, low etching rate, and high insulation property. - 特許庁

低誘電率、低エッチングレート、高絶縁性の特性を備える絶縁膜を形成する。例文帳に追加

To form an insulation film having properties of a low dielectric constant, a low etching rate and high insulating performance. - 特許庁

ゲート絶縁膜等の用途に適した、優れた絶縁特性を有するシリコン酸化膜を形成する。例文帳に追加

To provide a silicon oxide film suitable for use in a gate insulating film and the like, which has excellent insulating property. - 特許庁

その下部層間絶縁膜を直接覆うように下部層間絶縁膜とはエッチング特性の異なる上部層間絶縁膜１０を形成する。例文帳に追加

An upper interlayer insulating film 10, differing in etching properties from the lower interlayer insulating film, is formed to directly cover the lower interlayer insulating film. - 特許庁

電気特性、熱特性、機械特性および物理特性に優れ、特に誘電率が低く耐熱性に優れた絶縁膜用ワニスおよび絶縁膜を提供する。例文帳に追加

To provide a varnish for an insulating film and an insulating film which are excellent in electric properties, thermal properties, mechanical properties and physical properties, and in particular have a low dielectric constant and excellent heat resistance. - 特許庁

電気特性、熱特性、機械特性などに優れ、かつ低誘電率化が可能な絶縁膜用材料と、それを用いた絶縁膜を提供する。例文帳に追加

To provide a material for insulating membranes which excels in electrical properties, thermal properties, mechanical properties and the like and, simultaneously, can be allowed to have a low dielectric constant, and an insulating membrane using the same. - 特許庁

その下部層間絶縁膜を直接覆うように下部層間絶縁膜とはエッチング特性の異なる上部層間絶縁膜１０を形成する。例文帳に追加

An upper part inter-layer insulating film 10, whose etching characteristics is different from the lower part inter-layer insulating film 8, is so formed as to directly cover the lower part inter-layer insulating film 8. - 特許庁