自己イオン化の英語

生成された陽イオンと陰イオンの自己平衡は、前記間隙の周りに配置された電極の少なくとも１つへのイオン化電圧の容量結合１２を使用して達成される。例文帳に追加

Self-balancing of the generated positive ions and negative ions is accomplished using capacitive coupling 12 of the ionizing voltage to at least one of the electrodes arranged around the gap. - 特許庁

基板１９が配置される下部電極は、基板の表面上のコンタクトホールを満たすイオン化されたスパッタ原子を取り出すため、下部電極上に負の自己バイアス電圧を生成するようにＭＦ，ＨＦまたはＶＨＦのｒｆ電流が与えられる。例文帳に追加

The lower electrode arranged with a substrate 19 is applied with an rf electric current such as MF, HF or VHF so that negative self-bias voltage is generated on the lower electrode for taking out ionized sputter atoms filling a contact hole on the surface of the substrate. - 特許庁

銅をスパッタリングするための直流マグネトロンスパッタ反応器、その使用方法、低圧での自己イオン化プラズマ（ＳＩＰ）スパッタリングを増進させるシールド等、及び第１の銅層のためにＳＩＰを使用して狭くて深いビアまたはトレンチ内へ銅をコーティングする方法を提供する。例文帳に追加

To provide a DC magnetron sputtering reactor for sputtering copper, its use, a shield or the like for enhancing self-ionized plasma(SIP) sputtering at low pressure, and a method for applying copper coating to a narrow via or trench by using SIP for a first copper layer. - 特許庁

また少なくとも１個のプラズマ発生源としては、高周波プラズマエネルギーを適用してフッ化炭素ガスをイオン化する第１のプラズマ発生源と、不動態層の蒸着の間は高周波数で基板の自己バイアスをゼロ近傍に保つと共にポリマー層蒸着の間はより大きなバイアスとする第二のプラズマ発生源とを含むことができる。例文帳に追加

At least one plasma generating source can include a first plasma generating source for ionizing the fluorocarbon gas by applying high frequency plasma energy, and a second plasma generating source for keeping an auto-bias of the substrate in the vicinity of zero by high frequency during the deposition of the passivity layer while making the bias larger during the polymer layer deposition. - 特許庁

本発明の目的はブラウンガスを燃焼させて発熱部を１，０００℃以上加熱し、発熱部からの輻射熱により外壁を加熱して赤外線を放射させ、燃焼室に供給された燃焼したブラウンガスは高温の水分子になり、発熱部及び外壁から放射される赤外線を吸収して自己発熱現象にて昇温され、ＨとＯにイオン化再結合する燃焼サイクルを繰り返すようにするブラウンガス循環燃焼によるエネルギー創出装置を提供することにある。例文帳に追加

To repeat a combustion cycle for ionization and recombination of H and O, wherein brown gas is combusted to heat an exothermic portion, an outer wall is heated by radiant heat from the exothermic portion to radiate infrared rays, and the combusted brown gas supplied to a combustion chamber turns to high temperature water molecules to absorb the infrared rays and raise its own temperature through self-exothermic phenomenon. - 特許庁