荷電粒子衝突の英語

荷電粒子線の衝突や吸収による温度上昇が少ないアパーチャを有し、構造が簡単で温度制御が容易な荷電粒子線光学系を提供する。例文帳に追加

To provide a charged particle beam optical system which is possessed of an aperture that is less increased in temperature when a charged particle beam impinges on it or it absorbs a charged particle beam, simple in structure, and easily controlled in temperature. - 特許庁

次に、負に荷電している微粒子を用いる場合は、導電体層側が高電位となるように、正に荷電している微粒子を用いる場合は導電体層側が低電位となるように、電極４４と導電体層間に直流パルス電圧などの所定の電圧を印加することで、導電体層に微粒子を衝突させ、衝突エネルギーにより少なくとも導電体層の一部（バリアメタル層３０）を除去する。例文帳に追加

Then, a specific voltage such as a DC pulse voltage is applied between the electrode 44 and a conductor layer so that the conductor layer is brought to a high potential or a low potential when a fine particle magnetized negatively and positively is used, thus allowing the fine particle to hit against the conductor layer and removing at least one portion (battier metal layer 30) of the conductor layer of collusion. - 特許庁

試料の所望領域を一次荷電粒子ビームで走査し、一次荷電粒子ビームの照射により領域から二次的に発生する二次荷電粒子を二次電子変換電極33に衝突させた後、二次電子変換電極33の上記試料側の面に絶縁物を介して固定した第１のE×B偏向器31により発生する二次電子を検出器34に取り込む。例文帳に追加

After scanning a desired region of a testpiece by a primary charged particle beam and colliding secondary charged particles secondarily generated from the region by irradiation of the primary charged particle beam with secondary electron conversion electrodes 33, secondary electrons generated by a first E×B deflector 31 fixed to the surface on the sample side of the secondary electron conversion electrodes 33 via an insulating material is taken in a detector 34. - 特許庁

電子倍増管３．８は、前記変換ダイノード表面３．７に対するイオンの衝突によって生成される二次荷電粒子を前記変換ダイノードから受け取る。例文帳に追加

An electron multiplier 3.8 receives, from the conversion dynode, secondary charged particles generated by the ion collision with the conversion dynode surface 3.7. - 特許庁

基板５とターゲット３との間の放電領域内において電離するガス分子の圧力を均等化し、これにより電離した荷電粒子をターゲット３に均等の衝突させて、基板５上に均等な膜厚の薄膜を形成する。例文帳に追加

To deposit a thin film of a uniform thickness on a substrate by unifying the pressure of gas molecules ionized in a discharge area between a substrate 5 and a target 3, and uniformly colliding the ionized charged particles with the target 3. - 特許庁

ステンシルマスクの周囲に形成される電位分布に基づく電界強度を大きくし、荷電粒子がステンシルマスクの側壁に衝突する現象を抑制すること。例文帳に追加

To suppress a collision phenomenon of a charged particle to the side wall of a stencil mask by increasing electric field strength based on an electric potential distribution formed at the periphery of the stencil mask. - 特許庁

荷電粒子ビームが衝突した際に発生する熱によってダンプターゲットが溶融したり、ダンプターゲットが載置される床が劣化したりすることのないビームダンプを提供する。例文帳に追加

To provide a beam dump with a dump target free from melting due to heat generated at collision of the charged particle beams or a floor loading the dump target free from deterioration. - 特許庁

そうすれば、放電により帯電部材１の近傍で発生した荷電粒子が被帯電体２に到達するまでに他の気体に衝突する確率が少なくなるので、その分だけ画像流れの原因となる放電生成物の発生量を減少させることができる。例文帳に追加

Since a probability that charge particles produced near the member 1 by discharge collide with other gas until reaching a body 2 to be electrified is low, the produced amount of the discharge product causing the image flowing is reduced all the more. - 特許庁