集束偏向系の英語

集束電極系の精度を低下させたりすることなく、偏向歪み相殺用の強い四極レンズ電界を生成させる。例文帳に追加

To have a strong 4-pole lens electric field for canceling deflection distortion without deteriorating accuracy of a focusing electrode system. - 特許庁

前記シャッタシステム１３は、前記集束光学系の光路上かつ前記レーザ光１７ａの集束点Ａ近傍へと突出可能な反射鏡１４を含み、前記反射鏡１４は、突出した際に前記レーザ光１７ａを前記集束光学系および加工光学系９の光軸外へと反射（偏向）させて発散させる。例文帳に追加

The shutter system 13 includes a reflection mirror 14 that can project onto the optical path of the focusing optical system and to the proximity of the focus point A of the laser beam 17a, wherein the reflection mirror 14, when projected, causes the laser beam 17a to diverge by reflecting (deflecting) it to outside the optical axis of the focusing optical system and the machining optical system 9. - 特許庁

荷電粒子線装置は、荷電粒子線を集束させて試料に照射する対物レンズを有する照射系と、荷電粒子線を偏向走査する偏向走査系と、荷電粒子線の照射により試料から発生する信号を検出して走査像を生成する走査像生成系と、を有する。例文帳に追加

A charged particle beam device has an irradiation system, having an objective lens for focusing charged particle beams and irradiating a sample with the focused beams; a deflection scanning system for deflection-scanning the charged particle beams; and a scanning image forming system for detecting signals generated from the sample by the irradiation of the charged particle beams and then forming a scanning image. - 特許庁

本発明は、集束イオンビーム光学系における絞り，チルト偏向器，ビームスキャナー、及び対物レンズを制御し、該光学系の光軸に対して傾斜したイオンビームを照射することに関する。例文帳に追加

This invention relates to irradiation of ion beams inclined with respect to an optical axis of the optical system by controlling a diaphragm, tilt deflector, beam scanner, and objective lens in a focused ion beam optical system. - 特許庁

粒子光学系は、ビームを集束するための対物レンズと、ビーム経路で対物レンズの上流側に配置した第１ビーム偏向器と、ビーム経路で第１ビーム偏向器と対物レンズとの間に配置した収差補正器と、ビーム経路で収差補正器の下流側に配置した第２ビーム偏向器とを備える。例文帳に追加

The particle optical system has an objective lens for focusing the beam, a first beam deflector arranged at an upstream side of the objective lens in a beam passage, an aberration corrector arranged between the first beam deflector and the objective lens in the beam passage, and a second beam deflector arranged at a downstream side of the aberration corrector in the beam passage. - 特許庁

特に、振れ補正手段４は、撮像レンズ系３の光軸Ｃ上に配置されて被写体からの入射光を屈折偏向する複数の偏向素子４１，４２，４３を含み、その各偏向素子４１，４２，４３のうち少なくとも一つが入射光を集束する非球面レンズ部４４，４５，４６を一体として備えている。例文帳に追加

Especially, the blur correction means 4 includes a plurality of deflecting elements 41, 42 and 43, arranged on an optical axis C of the imaging lens system 3 and refracting and deflecting incident light from a subject, and at least one of the deflection elements 41, 42 and 43 is equipped with aspherical lens parts 44, 45 and 46 focusing the incident light as a unit. - 特許庁