非圧縮性気体の英語

非圧縮性流体のみならず、気体等の圧縮性流体も確実に吸入・吐出することができるポンプ装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a pump device capable of securely sucking/discharging not only non-compressible fluid but also compressible fluid such as gas. - 特許庁

また、水圧パッドは、気体静圧軸受とは異なり、軸受面と支持対象物（基板）との間の非圧縮性流体（液体）の静圧を利用するので、軸受の剛性が高く、軸受面と基板との間隔が、安定してかつ一定に保たれる。例文帳に追加

Further, the hydraulic pads use static pressure of incompressible fluid (liquid) between the bearing surfaces and the object to be supported (substrate) differently from gas hydrostatic bearings, so bearings have high rigidity and the interval between the bearing surfaces and wafer is kept stable and constant. - 特許庁

一方圧縮固化工程で発生した水蒸気、テレフタル酸、非水溶性のガス等の混合気体は気体処理部のテレフタル酸除去装置６ａ、冷却器６ｃ等において処理され、分離槽７において油分ＯＬが抽出されると共に非水溶性ガスＧ２は脱臭器８で脱臭処理された後系外に排出される。例文帳に追加

Water vapor generated at a depression and solidification process, terephthalic acid, mixed gas such as water insoluble gas are treated at a terephthalic acid removing device 6a of gas a processing part, a cooler 6c, and the like, and while oil OL is extracted in a separation tank 7, a water insoluble gas G2 is ejected out of the system after deodorization processing is carried out with a deodorization vessel 8. - 特許庁

また、水圧パッドは、気体静圧軸受とは異なり、軸受面と支持対象物（基板）との間の非圧縮性流体（液体）の静圧を利用するので、軸受の剛性が高く、軸受面と基板との間隔が、安定してかつ一定に保たれる。例文帳に追加

Since the water pressure pads, unlike static gas pressure bearings, utilize the hydrostatic pressure of non-compressive fluid (liquid) between a bearing surface and a support object (substrate), the bearing rigidity is high and the distance between the bearing surface and the substrate is stabilized and kept constant. - 特許庁

膨張弁１において、ピストン部材７０によって区画された２つの空間のうち、上部圧力作動室３５側に形成される第１の空間５５ａには、圧力による体積変化の小さい非圧縮性流体が封入され、上部圧力作動室３５と反対側で第２の通路９に位置するように形成される第２の空間５５ｂには、気体状態の冷媒が封入されている。例文帳に追加

In the expansion valve 1, out of two spaces partitioned by a piston member 70, a first space 55a formed on an upper pressure operation chamber 35 side is filled with incompressible fluid of which volume change caused by pressure is small, and a second space 55b formed on the side opposite to the upper pressure operation chamber 35 and positioned in a second passage 9 is filled with a refrigerant in the gas state. - 特許庁