CH treatmentとは 意味・読み方・使い方

For the insulating film 100 on a substrate 10 to be treated, plasma treatment using a gas which comprises at least one of a CH gas and a CO gas is performed.例文帳に追加

被処理基板１０上の絶縁膜１００に、少なくともＣＨ系ガス、ＣＯ系ガスのいずれかを含むガスを用いたプラズマ処理を行う。 - 特許庁

By executing low bias treatment using a halogen-based gas when etching the polysilicon film, a metal electrode having an independent work function is formed on the N-ch transistor and the P-ch transistor while improving the film quality of the High-k film which is a base.例文帳に追加

該ポリシリコン膜をエッチングする際にハロゲン系ガスを用いた低バイアス処理を施すことにより、下地のＨｉｇｈ−ｋ膜の膜質を改善しながら、Ｎ−ｃｈトランジスタ及びＰ−ｃｈトランジスタに独立した仕事関数を持つ金属電極を形成する。 - 特許庁

The control program part 11 monitors the drying order of a wafer, based on wafer information from other treatment units between it and a specified channel CH, and carries out wafer treatment.例文帳に追加

そして、設定部４で設定されたＣＰＵとチャネルとの対応付けに従って、制御プログラム部１１は特定のチャネルＣＨとの間で他の処理ユニットからの基板情報を基に基板の乾燥順序を監視し、基板処理を行う。 - 特許庁

Gas supplied in the chamber CH is plasmolyzed by microwaves output from the magnetrons M1 to M3 supplied with power, and a substrate G is put under a plasma treatment by the plasma generated.例文帳に追加

電力を供給されたマグネトロンＭ１〜Ｍ３から出力されるマイクロ波によりチャンバＣＨ内に供給されたガスがプラズマ化され，生成されたプラズマにより基板Ｇがプラズマ処理される。 - 特許庁

The elastic tube body 17 forms a flow path connecting the path 14s for syringe and the treatment instrument insertion channel Ch by being deformed so as to crush its side face.例文帳に追加

この弾性チューブ体１７は、その側面が潰れるように変形することで、シリンジ用通路１４ｓと処置具挿通チャンネルＣｈを結ぶ流路を形成する。 - 特許庁

A body 14 of the biopsy port 12 has an insertion path 14h communicating with a treatment instrument insertion channel Ch, and a path 14s for the syringe having a syringe port Eb is formed so as to be communicating with the insertion path 14h.例文帳に追加

鉗子栓１２の本体１４に、処置具挿通チャンネルＣｈに連通する挿通路１４ｈが設けられると共に、この挿通路１４ｈに連通するように、シリンジ口Ｅｂを有するシリンジ用通路１４ｓが形成される。 - 特許庁

The elastic tube body 16 is fixed by engaging a flange-like projection part 16a with the engaging groove 14c of the insertion path 14h, and forms a flow path connecting the path 14s for syringe and the treatment instrument insertion channel Ch by being deformed so as to crush its side face.例文帳に追加

この弾性チューブ体１６は、フランジ状の突出部１６ａを挿通路１４ｈの係合溝１４ｃに係合させて固定され、その側面が潰れるように変形することで、シリンジ用通路１４ｓと処置具挿通チャンネルＣｈを結ぶ流路を形成する。 - 特許庁