CRITICAL DIMENSIONとは 意味・読み方・使い方

METHOD TO CONTROL CRITICAL DIMENSION IN ETCHING PROCESS例文帳に追加

エッチングプロセスにおける臨界寸法を制御する方法 - 特許庁

To provide a plasma processing apparatus which has small variation in CD (Critical Dimension) precision by stabilizing the temperature of an in-apparatus member of the plasma processing apparatus.例文帳に追加

プラズマ処理装置の装置内部材の温度を安定化し、ＣＤ（Critical Dimension）精度の変動の少ないプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a pattern forming method capable of attaining both CDU (Critical Dimension Uniformity) performance and defect performance at high levels.例文帳に追加

ＣＤＵ（Critical Dimension Uniformity）性能と欠陥性能とを高い水準で両立させることが可能なパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

The analysis of the entire substrate of the measured critical dimension data is modeled by a response model of the critical dimension.例文帳に追加

測定したクリティカルディメンジョンデータの全基板解析が、クリティカルディメンジョンの応答モデルによってモデル化される。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a printing plate to achieve a fine pattern by minimizing a variation of etching CD (critical dimension).例文帳に追加

エッチングＣＤ(critical dimension)の変化を最小化して微細パターンを形成することができる印刷版の製造方法を提供する。 - 特許庁

METHOD FOR MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUIT HAVING FEATURE WITH SMALL CRITICAL DIMENSION例文帳に追加

臨界寸法を小さくしたフィーチャを有する集積回路の製造方法 - 特許庁

REAL-TIME CONTROL OF GATE ETCH CRITICAL DIMENSION BY OXYGEN MONITORING例文帳に追加

酸素モニタリングによるリアルタイム・ゲート・エッチ限界寸法制御 - 特許庁