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EXHAUST PIPE LIFTERとは 意味・読み方・使い方
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A control section 71 moves a plurality of substrates W to a processing position using a lifter 31, and processes the substrates W with a processing liquid supplied to the processing tank 1 via a supply/exhaust pipe 7.例文帳に追加
制御部７１は、リフタ３１により複数枚の基板Ｗを処理位置に移動させ、供給・排気管７を介して処理槽１内に供給された処理液で複数枚の基板Ｗを処理した後、オートカバー２３の各供給孔６７からイソプロピルアルコールの蒸気を供給させるとともに、排出管５７を介して処理液を排出させ、第１真空ポンプ１９により処理槽１内を排気させる。 - 特許庁
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