INTERFEROMETER SYSTEMとは 意味・読み方・使い方

APERTURE CONVERTER FOR INTERFEROMETER AND INTERFEROMETER SYSTEM例文帳に追加

干渉計のためのアパーチャコンバーター及び干渉計システム - 特許庁

INTERFEROMETER SYSTEM, SIGNAL PROCESSING METHOD IN INTERFEROMETER SYSTEM, AND STAGES USING SIGNAL PROCESSING METHOD CONCERNED例文帳に追加

干渉計システム、干渉計システムにおける信号処理方法、該信号処理方法を用いるステージ - 特許庁

DUST-PROOFING DEVICE OF OPTICAL SYSTEM FOR INTERFEROMETER AND INTERFEROMETER SYSTEM PROVIDED WITH THE SAME例文帳に追加

干渉計用光学系の防塵装置およびこれを備えた干渉計装置 - 特許庁

First positional information of a stage WST is measured using an interferometer system, for example, an X interferometer 126 and a Y interferometer 16.例文帳に追加

干渉計システム、例えばＸ干渉計１２６とＹ干渉計１６とを用いてステージＷＳＴの第１の位置情報を計測する。 - 特許庁

At the same time, positional information of the wafer stage is measured using an interferometer system, e. g. an X interferometer 127 and a Y interferometer 16.例文帳に追加

同時に、干渉計システム、例えばＸ干渉計１２７及びＹ干渉計１６を用いて、該ウエハステージの位置情報を計測する。 - 特許庁

To provide an inexpensive interferometer system that is used also in a heterodyne interferometer.例文帳に追加

ヘテロダイン干渉計にも用いられる安価な干渉計システムを提供すること。 - 特許庁

ILLUMINATION SYSTEM FOR MIREAU TYPE MICROSCOPIC INTERFEROMETER AND MIREAU TYPE MICROSCOPIC INTERFEROMETER DEVICE EQUIPPED WITH SAME例文帳に追加

ミロー型顕微干渉計用照明光学系およびこれを備えたミロー型顕微干渉計装置 - 特許庁

The system includes an interferometer, an optical element and an SLM.例文帳に追加

システムは干渉計、光学素子、およびＳＬＭを含む。 - 特許庁