LEC法の英語

To provide a method for producing a compound semiconductor single crystal by growing good quality single crystal ingot with good reproducibility while inhibiting local and accidental pyrolysis-recrystallization in seed crystals from developing, in growing crystals by a liquid encapsulated Czochralski method (LEC method).例文帳に追加

液体封止チョクラルスキー法（LEC法）による結晶成長において、種結晶における局所的で不測な熱分解・再結晶の発生を抑制して、良質な単結晶インゴットを再現性よく育成する化合物半導体単結晶の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method for producing a semiconductor single crystal capable of suppressing polycrystallization and a bottom-out phenomenon during growth and improving the production yield of a single crystal ingot, in producing a single crystal ingot by an LEC method.例文帳に追加

LEC法による単結晶インゴットの製造において、成長中の多結晶化や底付き現象を抑制して単結晶インゴットの製造歩留まりを向上することができる半導体単結晶の製造装置および製造方法を提供する。 - 特許庁