MASK STAGEとは 意味・読み方・使い方

The second handler 12a holds the second mask M2 and carries the mask to a mask stage 2.例文帳に追加

第２のハンドラ１２ａは、第２のマスクＭ２を保持し、マスクステージ２へ搬送する。 - 特許庁

The wafer stage is replaced thereafter with a mask stage for supporting the mask in a surface height equivalent to a surface height of the wafer mounted on the wafer stage, and the mask is mounted on the mask stage.例文帳に追加

その後、ウェハーステージに装着される前記ウェハーの表面高さと対等な表面高さにマスクを支持するマスクステージで前記ウェハーステージを交替し、マスクステージにマスクを装着する。 - 特許庁

EXPOSURE METHOD, PHOTO MASK AND RETICLE STAGE例文帳に追加

露光方法、フォトマスクおよびレチクルステージ - 特許庁

MASK STAGE DRIVE MECHANISM AND ITS CONTROLLING METHOD例文帳に追加

マスクステージ駆動機構及びその制御方法 - 特許庁

A mask stage supports the first leveling mechanism.例文帳に追加

マスクステージが第１のレベリング機構を支持する。 - 特許庁

SUPPORT MECHANISM AND MASK STAGE USING SUPPORT MECHANISM例文帳に追加

支持機構及び支持機構を使ったマスクステージ - 特許庁

At the time of mounting the mask stage, the guides 22 are moved up, and the mask stage is placed on the guides 22, and the legs 21 are moved down so that a mask stage MS can be absorbed and fixed by the mask stage absorbing and fixing parts 31.例文帳に追加

マスクステージを取り付けるには、ガイド２２を上昇させてガイド２２上にマスクステージを載置し、脚２１を下降させて、マスクステージＭＳをマスクステージ吸着固定部３１により吸着固定する。 - 特許庁

MASK STAGE MOUNTING STRUCTURE IN ALIGNER例文帳に追加

露光装置におけるマスクステージの取り付け構造 - 特許庁