Mean free timeとは 意味・読み方・使い方

At this time, the partial pressure of a gas for sputtering discharge in a discharge space is set to be ≤1.3 Pa, and the distance between the target 2 and an ionizing space is controlled to be within two times of the mean free path of the partial pressure of the gas for spattering discharge.例文帳に追加

放電空間内のスパッタ放電用ガス分圧を１．３Ｐａ以下とし、ターゲット２からイオン化空間までの距離をスパッタ放電用ガス分圧のミンフリーパスの２倍以内とする。 - 特許庁

Gas permeability and separation capacity of the porous ceramic filter are optimized at the same time by making an average pore diameter of pores in the porous ceramic filter the same degree size as a mean free path of the gas to be separated and further modifying a pore surface so as to have affinity to the gas to be separated.例文帳に追加

多孔質セラミックフィルタの細孔の平均細孔径を分離対象ガスの平均自由行程と同程度のサイズにするとともに、細孔表面を分離対象ガスに対して親和性を有するように改質することによって、ガス透過性と分離能を同時に最適化する。 - 特許庁