The PFC gas is decomposed by a catalyst in the PFC decomposition tower 2.例文帳に追加

ＰＦＣガスは、ＰＦＣ分解塔２内の触媒により分解される。 - 特許庁

TREATMENT APPARATUS OF PERFLUORO COMPOUND (PFC) AND TREATMENT METHOD OF PFC-CONTAINING GAS例文帳に追加

ＰＦＣ処理装置及びＰＦＣ含有ガスの処理方法 - 特許庁

The method for decomposing the PFC gas produced in the aluminum refining separates the PFC gas from the exhaust gas generated in an aluminum refining process in a PFC gas recovery apparatus 20, and decomposes the separated PFC gas in a PFC gas decomposition apparatus 30.例文帳に追加

アルミ精錬ＰＦＣガスの分解処理方法は、アルミ精錬過程より発生する排ガスよりＰＦＣガスをＰＦＣガス回収装置２０で分離し、分離したＰＦＣガスをＰＦＣガス分解装置３０で分解処理する。 - 特許庁

The decomposition ratio of the PFC gas is enhanced to efficiently decompose the PFC gas.例文帳に追加

これにより、ＰＦＣガスの分解率を向上させてより効率良くＰＦＣガスを分解できる。 - 特許庁

To efficiently decompose PFC by efficiently enriching an attenuated PFC (perfluorocompounds) without switching a gas flow path.例文帳に追加

希薄なＰＦＣを効率良く、ガス流路の切り替えなしに濃縮し、効率よくＰＦＣを分解する。 - 特許庁

Thus a PFC decomposition system comprising the above PFC gas enriching process, a PFC decomposition process and a post treatment process can be provided.例文帳に追加

上記のＰＦＣガスの濃縮工程と、ＰＦＣの分解工程と、後処理工程を有するＰＦＣ分解システムを提供可能である。 - 特許庁

DECOMPOSITION METHOD AND DECOMPOSITION APPARATUS OF PFC GAS例文帳に追加

ＰＦＣガスの分解処理方法及び分解処理装置 - 特許庁

PFC GAS TREATMENT METHOD AND APPARATUS例文帳に追加

ＰＦＣガスの処理方法及び処理装置 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR TREATING PFC GAS例文帳に追加

ＰＦＣガスの処理方法及び処理装置 - 特許庁

PFC GAS DECOMPOSITION SYSTEM AND METHOD USED FOR THE SAME例文帳に追加

ＰＦＣガス分解システム及びガス分解方法 - 特許庁

To increase the plasma decomposition efficiency of a PFC gas.例文帳に追加

ＰＦＣガスのブラズマ分解効率を向上させる。 - 特許庁

To provide a PFC decomposition method which enables more efficient decomposition of a PFC gas by enhancing the decomposition ratio of the PFC gas, a PFC decomposition apparatus and a method for manufacturing a semiconductor device.例文帳に追加

ＰＦＣガスの分解率を向上させてより効率良くＰＦＣガスを分解できるＰＦＣ分解方法、ＰＦＣ分解装置及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

Plasma etching is performed by diluting PFC gas with a rare gas.例文帳に追加

ＰＦＣ気体を希ガスで希釈して、プラズマエッチングを行う。 - 特許庁

To provide an exhaust gas treating system capable of blocking a PFC-based gas at the upstream side close to a treating device using the PFC-based gas.例文帳に追加

ＰＦＣ系ガス使用処理装置に近い上流側でＰＦＣ系ガスを阻止処理できる排気ガス処理システムを提供する。 - 特許庁

To develop a PFC gas (perfluoro compound) decomposition method capable of decomposing PFC gas without forcible addition of reaction water in the case of treating waste gas containing the PFC gas and acidic gas.例文帳に追加

ＰＦＣガスと酸性ガスを含有する排ガスを処理する場合に、反応水を強制添加しないでＰＦＣガスを分解できるＰＦＣガスの分解処理方法を開発する。 - 特許庁

To provide a gas treatment device for efficiently decomposing and treating a gas containing PFC, and having a reduced frequency of replacement of PFC decomposing/treating agent.例文帳に追加

ＰＦＣ含有ガスを効率よく分解処理し、ＰＦＣ分解処理剤の交換回数をより低減させたガス処理装置を提供すること。 - 特許庁

Thereby, CF4 and NF3 in the PFC gas can be separated.例文帳に追加

これによって、ＰＦＣガス中のＣＦ４，ＮＦ３を分離することができる。 - 特許庁

TREATMENT APPARATUS AND TREATMENT METHOD OF COMPOUND GAS CONTAINING PFC AND CO例文帳に追加

ＰＦＣおよびＣＯを含有する化合物ガスの処理装置および処理方法 - 特許庁

Further, reaction gas, which is either air or oxygen, is added to a waste gas containing 0.5% or more PFC to forcibly lower the PFC concentration to 0.5% or less to reliably decompose the PFC gas.例文帳に追加

更に、ＰＦＣ濃度が０．５％以上の排ガスに対し、空気または酸素のいずれかの反応ガスを添加して排ガス中のＰＦＣ濃度を０．５％以下に強制的に低減させ、ＰＦＣガスの分解を確実にする。 - 特許庁

The separation of the PFC gas is performed by separating the PFC gas by, e.g. a selective adsorption method, and the decomposition of the PFC gas is performed by, for example, a catalytic process.例文帳に追加

ＰＦＣガスの分離は、例えば選択吸着法によりＰＦＣガスを分離して行なわれ、ＰＦＣガスの分解処理は、例えば触媒方式により行われる。 - 特許庁

This method for enriching the attenuated PFC gas containing the PFC, N_2, etc. is to generate a pressure difference on both sides of a porous body layer, then introduce an attenuated PFC-containing gas into the high-pressure-side and discharge a gas with a molecule smaller than the PFC from the low-pressure-side.例文帳に追加

ＰＦＣと、Ｎ_2 等を含有する希薄ＰＦＣガスの濃縮方法であって、多孔体層の両側に圧力差を発生させ、高圧側に希薄ＰＦＣ含有ガスを導入し、低圧側からＰＦＣより分子の小さいガスを排出する。 - 特許庁

PFC (perfluorocompound) gas discharged from an etching furnace 13 is heated by a preheater after passing through a spray tower 16, and then introduced into a PFC decomposition tower 2.例文帳に追加

エッチング炉１３から放出されたＰＦＣガスは、スプレー塔１６を経て予熱器１で加熱され、その後、ＰＦＣ分解塔２に導入される。 - 特許庁

Exhaust gas containing PFC discharged from all etchers in the clean room 2 is supplied into the PFC decomposition device 9 through the duct 7.例文帳に追加

クリーンルーム２内の全てのエッチャーから排出されたＰＦＣを含む排ガスは、ダクト７によってＰＦＣ分解装置９内に供給される。 - 特許庁

PFC-containing gas is brought into contact with a removing agent containing a binderless X-type zeolite in order to adsorb and remove PFC.例文帳に追加

バインダレスＸ型ゼオライトを含む除去剤にＰＦＣを含むガスを接触させることによって、ＰＦＣを吸着除去する。 - 特許庁

The PFC gas decomposition method involves removing an acidic gas by bringing a waste gas containing 0.5% or less PFC into contact with water by a gas-liquid contact apparatus 7 and introducing the resulting waste gas into a heated catalyst layer to decompose PFC gas.例文帳に追加

本発明に係るＰＦＣガスの分解処理方法は、前記排ガス中のＰＦＣ濃度は０．５％以下であり、この排ガスを水と気液接触装置７で接触させて酸性ガスを除去し、この除去された排ガスを加熱した触媒層に導入してＰＦＣガスを分解することを特徴とする。 - 特許庁

To analyze PFC gases with high accuracy without being disturbed by an interference gas interfering with the infrared absorption wavelength of the PFC gases when the concentration of the PFC gases is analyzed.例文帳に追加

ＰＦＣ類ガスの濃度の分析において、ＰＦＣ類ガスの赤外吸収波長に干渉する干渉ガスに妨げられることなく高精度の分析を行う。 - 特許庁

Treated gas G containing PFC gas is combustion-cracked in a combustion cracking section 2.例文帳に追加

ＰＦＣガスを含む被処理ガスＧを、燃焼分解部２にて燃焼分解する。 - 特許庁

To inhibit the corrosion of an exhaust line for discharging gas after washing PFC decomposition gas.例文帳に追加

ＰＦＣ分解ガスの洗浄後のガスを排気する排気ラインの腐食を抑制する。 - 特許庁

After film formation is finished, a PFC gas is supplied as cleaning gas into the wafer treatment chamber 41.例文帳に追加

成膜処理終了後、ウエハ処理室４１内に、クリーニングガスとしてＰＦＣガスを供給する。 - 特許庁

After separation removal of solids contained in the exhaust gas, the PFC-containing gas is introduced into the column.例文帳に追加

次いで、ＰＦＣ含有ガスに含まれる固形物を分離除去し、その後で、触媒反応塔に導入する。 - 特許庁

To provide a plasma type gas detoxifying apparatus enhanced in the decomposing capacity of a PFC (perfluorocarbon) gas or the like.例文帳に追加

ＰＦＣガス等を分解する能力が高い除害装置を提供すること。 - 特許庁

To suppress the corrosion of an exhaust line for exhausting the gas after washing PFC (perbluoro compounds) decomposition gas.例文帳に追加

ＰＦＣ分解ガスの洗浄後のガスを排気する排気ラインの腐食を抑制する。 - 特許庁

The PFC decomposition apparatus is equipped with a chamber in the PFC decomposition apparatus 14 into which the PFC gas discharged from a processing apparatus 10 such as a semiconductor manufacturing apparatus is introduced, a mechanism for generating plasma in the PFC decomposition chamber and a mechanism 16 for supplying an oxidizing gas into the PFC decomposition chamber.例文帳に追加

本発明に係るＰＦＣ分解装置は、半導体製造装置等のプロセス装置１０から排気されるＰＦＣガスが導入されるＰＦＣ分解装置１４内のチャンバーと、ＰＦＣ分解チャンバー内にプラズマを発生させるプラズマ発生機構と、このＰＦＣ分解チャンバーに酸化反応ガスを供給するための供給機構１６と、を具備する。 - 特許庁

In the plasma type PFC decomposition system where PFC- containing exhaust gas discharged from a plasma device 1 by a first exhaust gas suction device 2 is introduced into a plasma type PFC decomposition device 4 to be decomposed and the decomposed gas is discharged by a second exhaust gas suction device 5, metal impurity removing equipment 3 is installed between the first exhaust gas suction device 2 and the plasma type PFC decomposition device 4.例文帳に追加

プラズマ装置１から第１排ガス吸引装置２により排出されたＰＦＣ(パーフルオロコンパウンド)を含む排ガスをプラズマ式ＰＦＣ分解装置４に導入して分解し、分解ガスを第２排ガス吸引装置５により排気するプラズマ式ＰＦＣ分解システムにおいて、第１排ガス吸引装置２とプラズマＰＦＣ分解装置４との間に金属不純物除去設備３を備える。 - 特許庁

To provide a plasma type PFC (perfluorocompound) decomposition system having a means for maintaining high PFC decomposition performance by efficiently removing metal impurities contained in PFC-containing gas and preventing the clogging caused by the deposition of the metal impurities, the corrosion of exhaust gas suction devices caused by corrosive gas, and the like.例文帳に追加

ＰＦＣ含有ガス中に含まれる金属不純物を効率良く除去し、金属不純物の析出に起因する閉塞や腐食性ガスに起因する排ガス吸引装置の腐食などを防止し、高いＰＦＣ分解性能を維持するための手段を備えたプラズマ式ＰＦＣ分解システムを提供する。 - 特許庁

Thereby, CF_4 and C_2F_6 in the PFC gas can be effectively separated.例文帳に追加

これによって、ＰＦＣガス中のＣＦ_4，Ｃ_2Ｆ_6を効果的に分離することができる。 - 特許庁

In this way, CF_4 and NF_3 in the PFC gas can be separated effectively.例文帳に追加

これによって、ＰＦＣガス中のＣＦ４，ＮＦ３を効果的に分離することができる。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR DECOMPOSING PFC GAS PRODUCED IN ALUMINUM REFINING例文帳に追加

アルミ精錬ＰＦＣガスの分解処理方法およびアルミ精錬ＰＦＣガスの分解処理装置 - 特許庁

Especially, since the PFC gas is once concentrated in the adsorbing device 18, the chromatographic separation can be effectively performed.例文帳に追加

特に吸着装置１８にて一旦濃縮しているため、クロマト分離が効果的に行える。 - 特許庁

Thus, discharge is not performed in the form of PFC gas as it is to the outside of the processing chamber.例文帳に追加

これにより、処理チャンバー外へＰＦＣガスのままで排出されないようにする。 - 特許庁

To provide a perfluorinated compound (PFC) decomposition device which realizes easy maintenance, mass treatment, and a low operation cost by directly connecting the device with an exhaust gas duct and adding electrical energy directly to the mixed exhaust gas containing a large volume of discharged PFC gas at normal temperature and pressure to decompose the PFC gas, and a PFC treatment system using the decomposition device.例文帳に追加

排ガスダクトに直接付着して大量排出されるＰＦＣガスを含む混合された排ガスに常温常圧状態で直接電気的エネルギーを加えてＰＦＣガスを分解処理することによって維持管理が簡便であり、大容量処理が可能でかつ運転コストが低廉なＰＦＣ分解装置およびこれを利用したＰＦＣ処理システムを提供する。 - 特許庁

A mist separator is provided at the poststage of a washing tower for washing the decomposition gas of the PFC.例文帳に追加

ＰＦＣの分解ガスを洗浄する洗浄塔の後段にミスト分離装置を設ける。 - 特許庁

A mist separator is installed downstream of a washing tower for washing the decomposition gas of PFC.例文帳に追加

ＰＦＣの分解ガスを洗浄する洗浄塔の後段にミスト分離装置を設ける。 - 特許庁

The PFC gas is decomposed by the plasma in the decomposition chamber and chemically reacted with the oxidizing gas to detoxify the PFC gas.例文帳に追加

上記ＰＦＣ分解チャンバー内でＰＦＣガスをプラズマにより分解して酸化反応ガスと化学反応させて反応生成物を形成することにより除害する。 - 特許庁