Pirani gageとは 意味・読み方・使い方

PIRANI VACUUM GAGE例文帳に追加

ピラニ真空計 - 特許庁

PIRANI VACUUM GAGE AND METHOD FOR MEASURING PRESSURE例文帳に追加

ピラニ真空計および圧力測定方法 - 特許庁

A voltage value V (output) corresponding to a gas pressure output from a Pirani vacuum gage is input into an operation part 4 through a driver 2.例文帳に追加

ピラニ真空計から出力された、気体の圧力に対応した電圧値Ｖ（出力）は、ドライバ２を介して演算部４に入力される。 - 特許庁

To attain miniaturization of products and low manufacturing cost by mass production by manufacturing a capacitance type diaphragm vacuum gage and a Pirani vacuum gage on a single silicon substrate.例文帳に追加

静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を単一のシリコン基板上に製造することが可能で、これにより製品の小型化と大量生産による製造コストの低減が可能となる。 - 特許庁

To provide a constant-current type Pirani vacuum gage having high measurement accuracy, even if a sensor part that has a filament is separated from a control system, and a simple structure, and a wide measurement range of pressure.例文帳に追加

フィラメントを有するセンサー部と制御系とが離れていても測定精度が高く、構造が簡易で、かつ圧力の測定範囲が広い定電流型ピラニ真空計を提供する。 - 特許庁

A cavity 21 is formed so that a length L in a direction along the gravity direction W when using a Pirani vacuum gage 10 is set to be a length not generating convection, namely, ≤1 mm, in a domain S where the electric resistor 40 between two bending parts 49a, 49b is arranged.例文帳に追加

空洞２１は、２つの屈曲部４９ａ，４９ｂの間の電気抵抗体４０が配された領域Ｓにおいて、ピラニ真空計１０を使用する際に重力方向Ｗに沿った方向となる長さＬを、対流が生じない長さ、即ち１ｍｍ以下となるように形成される。 - 特許庁