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Pirani vacuum gaugeとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
A vacuum gauge 13 for monitoring a degree of vacuum comprising a baratron gauge, a pirani gauge or the like is provided to a vacuum chamber 2 of the vacuum treatment device 1, and the degree of vacuum detected by the vacuum gauge 13 is inputted to the APC 14.例文帳に追加
本発明の真空処理装置1の真空チャンバ2には、真空度を監視するバラトロンゲージやピラニーゲージ等からなる真空計13が設けられ、真空計13が検出した真空度はAPC14に入力される。 - 特許庁
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