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Pre-Cleaning of Resist Coatingとは 意味・読み方・使い方
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A substrate-processing device 1 comprises a plurality of wet-type processing units (a cleaning unit 10 and a resist coating unit 30) provided on a first stage, a plurality of dry-type processing units (a dehydration bake unit 20 and a pre-bake unit 40) laminated above the wet-type processing unit, and vertically-moving robots 2a, 51, and 52.例文帳に追加
基板処理装置１は、１段目に配置される複数の湿式処理ユニット（洗浄ユニット１０，レジスト塗布ユニット３０）と、湿式処理ユニットの上方に積層される複数の乾式処理ユニット（脱水ベークユニット２０，プリベークユニット４０）と、上下動ロボット２ａ，５１，５２とを備えている。 - 特許庁
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