RHbとは 意味・読み方・使い方

An upstream side heater Rha, a downstream side heater Rhb, lead parts L2, L5, an upstream side thermometer Rka and a downstream side thermometer Rkb are formed respectively from polycrystalline silicon on the silicon nitride film 20.例文帳に追加

そして、シリコン窒化膜２０上には、上流側ヒータＲｈａ、下流側ヒータＲｈｂ、リード部Ｌ２、Ｌ５、上流側温度計Ｒｋａ、下流側温度計Ｒｋｂがそれぞれ多結晶シリコンにて形成されている。 - 特許庁

On the silicon nitride film 20, an upstream side heater Rha and a downstream side heater Rhb, leads L2, L5, an upstream side temperature meter Rka, and a downstream side temperature meter Rkb, are formed.例文帳に追加

そして、シリコン窒化膜２０上には、上流側ヒータＲｈａ、下流側ヒータＲｈｂ、リード部Ｌ２、Ｌ５、上流側温度計Ｒｋａ、下流側温度計Ｒｋｂが形成されている。 - 特許庁

Heat conductive members (not shown) having higher heat conductivity than that of the silicon oxide film 20 are provided as dummy patterns in the upstream heater Rha and the downstream heater Rhb.例文帳に追加

上流側ヒータＲｈａ、下流側ヒータＲｈｂには、シリコン酸化膜２０よりも熱伝導性の高い熱伝導部材（図示略）をダミーパターンとして設ける。 - 特許庁

Then, on the silicon oxide film 20, an upstream side heater Rha, a downstream side heater Rhb, lead sections L2, L5, an upstream side thermometer Rka, and a downstream thermometer Rkb are formed by silicon.例文帳に追加

そして、シリコン酸化膜２０上には、上流側ヒータＲｈａ、下流側ヒータＲｈｂ、リード部Ｌ２、Ｌ５、上流側温度計Ｒｋａ、下流側温度計Ｒｋｂがそれぞれシリコンにて形成されている。 - 特許庁

A silicon nitride film 40 is laminated so as to cover these upstream side heater Rha and the downstream side heater Rhb, leads L2, L5, the upstream side temperature meter Rka, and the downstream side temperature meter Rkb.例文帳に追加

そして、これら上流側ヒータＲｈａや、下流側ヒータＲｈｂ、リード部Ｌ２、Ｌ５、上流側温度計Ｒｋａ、下流側温度計Ｒｋｂを覆うようにして、シリコン窒化膜４０が積層されている。 - 特許庁

The flow sensor is formed with an upstream heater Rha, a downstream heater Rhb, lead parts L1-L6, an upstream thermometer Rka, and a downstream thermometer Rkb, on the silicon oxide film 20.例文帳に追加

そして、シリコン酸化膜２０上には、上流側ヒータＲｈａ、下流側ヒータＲｈｂ、リード部Ｌ１〜Ｌ６、上流側温度計Ｒｋａ、下流側温度計Ｒｋｂが形成されている。 - 特許庁

In this case, the surfaces of the upstream side heater Rha, the downstream side heater Rhb, the lead parts L2, L5, the upstream side thermometer Rka and the downstream side thermometer Rkb are covered by a thermal oxidation film 31.例文帳に追加

ここで、上流側ヒータＲｈａ、下流側ヒータＲｈｂ、リード部Ｌ２、Ｌ５、上流側温度計Ｒｋａ、下流側温度計Ｒｋｂの表面は、熱酸化膜３１によって覆われている。 - 特許庁

The upstream side heater Rha, the downstream side heater Rhb, and the like are made of monocrystallized silicon by allowing amorphous silicon to be subjected to solid-phase growth with a semiconductor substrate 10 exposed by the elimination regions R1 - R5 as a seed.例文帳に追加

上流側ヒータＲｈａ、下流側ヒータＲｈｂ等は、除去領域Ｒ１〜Ｒ５によって露出した半導体基板１０をシードとして非晶質シリコンが固相成長することで単結晶化されたシリコンからなる。 - 特許庁