Scattered electronとは 意味・読み方・使い方

Therefore, only the non-scattered electrons e1 are detected by an electron detector 6.例文帳に追加

したがって、電子検出器６ではほとんど無散乱電子ｅ１のみが検出される。 - 特許庁

To provide a dark field detection system of a scanning electron microscope (SEM) having a polar angle identification function of scattered electrons.例文帳に追加

散乱電子の極角識別機能を有するＳＥＭ暗視野検出システムを提供すること。 - 特許庁

INCIDENT AXIS ADJUSTING METHOD OF SCATTERED ELECTRON BEAM AGAINST ANNULAR DARK FIELD SCANNING IMAGE DETECTOR, AND SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加

環状暗視野走査像検出器に対する散乱電子ビームの入射軸調整方法及び走査透過電子顕微鏡 - 特許庁

A scattered light detecting means is arranged at a position out of the flying passage of the electron beam and the extension line thereof to detect a part of the scattered light generated by the collision of the electron beam with the laser beam.例文帳に追加

散乱光検出手段が、電子ビームの飛翔経路及びその延長線から逸れた位置に配置され、電子ビームとレーザビームとの衝突により発生する散乱光の一部を検出する。 - 特許庁

The bellows 24 has a plurality of salient parts 24a on the inside surface thereof, so that even when the electron beam B passing through the electron passage path 26 has scattered electrons occurring therein, the progress of scattered electrons is blocked in order to restrain the scattered electrons from reaching a target 3a.例文帳に追加

ベローズ２４は、内面に複数の凸部２４ａを有しており、電子通過路２６を通過する電子ビームＢにおいて散乱電子が発生した場合であっても、散乱電子の進行を遮断し、散乱電子がターゲット３ａに到達することを抑制する。 - 特許庁

To easily carry out incident axis adjusting method of a scattered electron beam against an annular dark field scanning image detector regarding an incident axis adjusting method of a scattered electron beam against an annular dark field scanning image detector and a scanning transmission electron microscope.例文帳に追加

本発明は環状暗視野走査像検出器に対する散乱電子ビームの入射軸調整方法及び走査透過電子顕微鏡に関し、環状暗視野走査像検出器に対する散乱電子ビームの入射軸合わせ容易に行うようにすることを目的としている。 - 特許庁

To provide a scanning transmission electron microscope capable of independently setting capturing angle ranges of a scattered electron beam detector and an energy spectrometer, and not requiring to change a condition of the energy spectrometer for the change of the capturing angle range of the scattered electron beam detector.例文帳に追加

散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の設定と独立にエネルギー分光器の取りこみ角度範囲が設定でき、散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の変化に対してエネルギー分光器の条件を変更する必要がない走査透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

A lithographic projection apparatus has an alignment sensor comprising an electron beam supply source 10 for supplying an electron beam 12 for impinging on an alignment mark 14 on a substrate W, and a back- scattered electron detector 16 for detecting electrons being back-scattered from the alignment marker 14.例文帳に追加

リソグラフィ投影装置は、基板Ｗ上のアライメント・マーク１４に当たる電子ビーム１２を供給するための電子ビーム供給源１０、およびアライメント・マーク１４から後方散乱された電子を検出するための後方散乱電子検出器１６を備えるアライメント・センサを備える。 - 特許庁