Species (film)とは 意味・読み方・使い方

Further, the liquid film is activated, polymerized and solidified, and converted into a film by the plasma-excited species.例文帳に追加

また、液膜は、プラズマ励起種によって活性化され、重合・固化して皮膜に変化する。 - 特許庁

The film forming device includes a sample chamber for reservoiring a material, at least one nozzle for discharging the material or a chemical species using the material as a precursor, and a chemical species generator for generating the chemical species.例文帳に追加

本発明は、材料を貯留するための試料室と、前記材料又は前記材料を前駆体とする化学種を吐出する少なくとも１つのノズルと、前記化学種を発生させる化学種発生部と、を含む製膜装置を提供する。 - 特許庁

The silicon nitride film containing carbon is deposited by the reaction of species nitride and a silicon source.例文帳に追加

炭素を含むシリコン窒化膜は、窒化種とシリコンソースの反応により成膜される。 - 特許庁

To remove at least a portion of carbon-containing species within an organosilicate (OSG) film.例文帳に追加

有機シリケート（ＯＳＧ）膜内の炭素含有種の少なくとも一部分を除去すること。 - 特許庁

A desired species is injected onto the permeable film part 15 and cultured.例文帳に追加

そして、透過性膜部１５上に目的とする生物種を接種し、培養に供する。 - 特許庁

To provide a thin film formation method and apparatus which can efficiently form a film by catalytic chemical vapor deposition, even if the film is formed by using a mixture of two or more kinds of material gases by increasing the generation of deposition species or its derivative species.例文帳に追加

堆積種又はその誘導種の発生量を増加させることによって、２種以上の原料ガス混合物の場合でも、触媒化学気相成長法により効率的に成膜しうる薄膜形成方法及び装置の提供。 - 特許庁

Here the permeation preventive film 22, is formed, for example, by making, e.g. acid as a 1st reaction species permeate the porous insulating film 20 at a part which is exposed in the opening 21a of the mask layer 21 and supplying a 2nd reaction species made of resin, etc., capable of cross-linking with the 1st reaction species.例文帳に追加

この浸透防止膜２２の形成は、例えば、マスク層２１の開口２１ａに露出している部分のポーラス絶縁膜２０に、第１反応種として例えば酸を浸透させ、第１反応種と架橋反応をなし得る樹脂等からなる第２反応種を供給することで形成する。 - 特許庁

When the SiCO film is deposited, a reaction of active species of oxygen with carbon in the CF film is suppressed and thus, the degassed amount of the CF film is reduced.例文帳に追加

ＳｉＣＯ膜の成膜時に、酸素の活性種がＣＦ膜中の炭素と反応することが抑えられ、従ってＣＦ膜の脱ガス量が低減する。 - 特許庁