atmospheric electric fieldとは 意味・読み方・使い方

This gas for a plasma discharge treatment is used for a plasma discharge treatment carried out by applying an electric field under pressure close to the atmospheric pressure and contains N_4^+ ions having a time-averaged density not smaller than 8.0×10^16[m^-3].例文帳に追加

大気圧近傍の圧力下で電界をかけて行うプラズマ放電処理に用いられるプラズマ放電処理用ガスであって、時間平均密度が８．０×１０^１６［ｍ^−３］以上のＮ_４^＋イオンを含有する。 - 特許庁

In the method, the atmospheric pressure plasma treatment device is cleaned by filling a discharge space with gas and applying a high frequency electric field to generate plasma.例文帳に追加

大気圧プラズマ処理装置のクリーニング方法において、放電空間にガスを供給して満たし、高周波電界によりプラズマを発生させることを特徴とする大気圧プラズマ処理装置のクリーニング方法。 - 特許庁

A plasma treatment apparatus is provided with a discharge inhibition 6 having an exposed surface 6a to a plasma generation space 13 for generating a plasma near atmospheric pressure, and electric field generating means for generating the plasma near the exposed surface 6a out of the plasma generation space 13 by generating an electric field through the electric discharge inhibiting section 6.例文帳に追加

プラズマ処理装置は、大気圧近傍でプラズマを発生させるためのプラズマ発生空間１３に対する露出面６ａを有する放電禁止部６と、放電禁止部６を介して電界を発生させることによってプラズマ発生空間１３のうち露出面６ａ近傍にプラズマを発生させるための電界発生手段とを備える。 - 特許庁

Simultaneously with introduction of a process gas containing TMG being an organogallium compound, nitrogen (N_2) and hydrogen (H_2) in a space between a pair of electrodes (12H, 12E) under a pressure close to atmospheric pressure, and electric field is applied between the electrodes (12H, 12E) so as to induce electric discharge.例文帳に追加

大気圧近傍の圧力下で一対の電極１２Ｈ，１２Ｅ間に、有機ガリウム化合物であるＴＭＧと窒素（Ｎ_２）と水素（Ｈ_２）とを含有するプロセスガスを導入するとともに、電極１２Ｈ，１２Ｅ間に電界を印加して放電を生成する。 - 特許庁

Under a nearly atmospheric pressure condition, the microwave and plasma generation gas are made to pass through the slit 42 and an electric field of the microwave is concentrated to form a high electric field in the vicinity of the slit 42, and the plasma generation gas is ionized to generate plasma P, and by the plasma P, a treatment object surface 800 of a treatment object 80 is applied a prescribed treatment.例文帳に追加

略大気圧条件下において、マイクロ波とプラズマ生成用ガスとをスリット４２に通過させることによりマイクロ波の電界を集中させスリット４２付近に高電界を形成し、プラズマ生成用ガスを電離させプラズマＰを生成し、プラズマＰにより処理対象物８０の処理対象面８００に所定の処理を施す。 - 特許庁

Multiple electrodes are arranged at opposing positions for a single electrode in a processing vessel to form multiple sets of electrode pairs, and discharge plasma is generated by the application of an electric field between the multiple sets of electrode pair under atmospheric pressure or the vicinity for plasma processing between each electrode.例文帳に追加

処理容器内に設置された１つの電極に対し、複数の電極を対向配置して複数組の電極対を設け、それら複数組の電極間に大気圧近傍下で電界を印加することにより放電プラズマを発生させて、各電極間でプラズマ処理を行う。 - 特許庁

Feed gas is introduced between counter electrodes under pressure near atmospheric pressure in a laminate formation process of the semiconductor element, and a pulsive electric field is applied between counter electrodes for changing the feed gas into the glow discharge plasma and for forming the thin film in the manufacturing method of the semiconductor element.例文帳に追加

半導体素子の積層体成形工程において、大気圧近傍の圧力下で対向電極間に原料ガスを導入し、該対向電極間にパルス状の電界を印加することにより原料ガスをグロー放電プラズマ化させ、薄膜を形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 特許庁

The cell made of the high-molecular resin is arranged between two counter electrodes and, after an electric field is applied across the counter electrodes under a nitrogen atmosphere in a pressure atmosphere near to atmospheric pressure to produce discharge, a part subjected to discharge treatment is exposed to an oxygen-containing gas to perform the hydrophilizing treatment of the cell made of the resin.例文帳に追加

対向する２つの電極間に高分子樹脂製セルを配置し、大気圧近傍の圧力雰囲気で、窒素雰囲気下で前記対向電極間に電界を印加して放電を発生させた後、酸素を含むガスに放電処理した部分を曝すことで前記樹脂製セルを親水化処理する。 - 特許庁