constituent of the atmosphereとは 意味・読み方・使い方

In the plasma processing apparatus for processing a workpiece such as a wafer by the plasma or the like under a decompression atmosphere, conductive ceramics as a sintered compact involving alumina as a main component are used as a material of constituent parts in the apparatus.例文帳に追加

減圧雰囲気においてプラズマ等によりウエハ等の被処理物を処理するプラズマ処理装置において、前記装置内の構成部品の材料にアルミナを主成分とした焼結体である導電性セラミックを用いる。 - 特許庁

If the atmosphere A is oxygen gas, aluminum which is a raw material constituent of aluminum nitride is oxidized and an aluminum oxide M is formed on the cut surface 5 formed with the laser beam.例文帳に追加

前記雰囲気Ａを酸素ガスにするとレーザビームにより形成された切削加工面５に窒化アルミニウムの原料成分であるアルミニウムが酸化されて酸化アルミニウムＭが形成される。 - 特許庁

A calibration piping system is constituted as a closed pipeline by the constituent device 14, distribution pipes 12 and 13 and the gas purity meter 2 of the dynamo and atmospheric discharge is also enabled through an atmosphere discharge pipe 7.例文帳に追加

校正用配管系統は構成装置１４、配管１２，１３、発電機ガス純度計２で閉管路に構成され、大気放出管７を通じて大気放出も可能である。 - 特許庁

This is a method of manufacturing the transparent conductive film by which a film having transparency and conductivity is formed from a plasma including a raw material having at least carbon as a constituent element and an atmosphere containing hydrogen gas and nitrogen gas.例文帳に追加

少なくとも炭素を構成元素とする原料物質と水素ガスと窒素ガスとを含む雰囲気のプラズマにより、透明性且つ導電性を有する膜を形成する透明導電膜の製造方法。 - 特許庁

This electrode catalyst is obtained by adsorbing a catalyst constituent to inside walls of pores of a porous body, by introducing a carbon precursor into the pores, by carbonizing the carbon precursor by heating the porous body in an inactive atmosphere, by converting the catalyst constituent to an active point, and by removing the porous body.例文帳に追加

本発明に係る電極触媒は、多孔質体の細孔内壁に触媒成分を吸着させ、前記細孔内部にカーボン前駆体を導入し、前記多孔質体を不活性雰囲気下において加熱することによって前記カーボン前駆体を炭化させ、かつ前記触媒成分を活性点に変換し、前記多孔体を除去することにより得られる。 - 特許庁

The dust amounts in the constituents consisting of a circuit member supplier 120, a component supplier 130, a bonder 140, and a carrier 150 are measured respectively, and the cleaning operation is carried out for each above-mentioned constituent in accordance with the measured result, so that the atmosphere in each constituent can always be maintained in the clean state.例文帳に追加

回路部材供給部１２０、部品供給部１３０、ボンディング部１４０、及び搬出部１５０の構成部分におけるそれぞれの塵埃量を測定し、測定結果に応じて上記構成部分毎に清浄動作を行うことから、各構成部分の雰囲気を常に清浄な状態に維持することができる。 - 特許庁

There are arranged an oxidation vessel 5 in which a magnesium-containing powder is oxidized in an atmosphere of a gas containing oxygen as a constituent element, such as carbon dioxide to form magnesium oxide, a carbonate formation tank 1 retaining water or an aqueous solution in which magnesium containing oxygen as a constituent element formed in the oxidation vessel 5 is put, and a carbon dioxide supply means 4 to supply carbon dioxide to the carbonate formation tank 1.例文帳に追加

炭酸ガス等の酸素を構成元素として含むガスの雰囲気中で、マグネシウムを含む粉体を酸化させて酸化マグネシウムを生成する酸化容器５と、酸化容器５で生成した酸素を構成元素として含むマグネシウムを投入する、水または水溶液を貯留した炭酸塩生成槽１と、炭酸塩生成槽に対して炭酸ガスを供給する炭酸ガス供給手段４とを設けた。 - 特許庁

A key constituent feature is use of a conveying chamber, which feeds substrates into a controlled atmosphere along the sides of processing chambers through a load lock and then along a conveying chamber that performs as a means for carrying the substrates to reach the processing chambers, and subsequently to processing within the processing chambers, releases the substrates to the exterior of the controlled atmosphere.例文帳に追加

主要な要素は、基板を、処理チャンバーの側方に沿ってロードロックを介して制御された大気に供給し、その後処理チャンバーに到達させる一手段としての搬送チャンバーに沿い、そして処理チャンバー内での処理に続いて、制御された大気の外部に放出する搬送チャンバーを用いることである。 - 特許庁