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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 英和専門語辞典 > contrast of electron beam resistの意味・解説 

contrast of electron beam resistとは 意味・読み方・使い方

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意味・対訳 電子線レジストのコントラスト


クロスランゲージ 37分野専門語辞書での「contrast of electron beam resist」の意味

contrast of electron beam resist


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該当件数 : 1



例文

To provide a positive resist composition which improves performance in microfabrication of a semiconductor element using an electron beam, X-ray or EUV light and simultaneously satisfies high sensitivity, high resolution, a good pattern shape, good line edge roughness, high contrast, prevention of conversion to a negative resist composition, and surface roughness, and to provide a pattern forming method using the same.例文帳に追加

電子線、X線、あるいはEUV光を使用する半導体素子の微細加工における性能向上技術の課題を解決することであり、高感度、高解像性、良好なパターン形状、良好なラインエッジラフネス、高コントラスト、ネガ化防止、表面ラフネスを同時に満足するポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

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