elastic wave scatteringとは 意味・読み方・使い方

To provide a piezoelectric device including a substrate, a piezoelectric thin film supported by the substrate, and an upper electrode and a lower electrode formed opposite to each other by clamping the piezoelectric thin film in the thickness direction, that suppresses scattering of a bulk elastic wave in the piezoelectric thin film to enhance the piezoelectric characteristic.例文帳に追加

基板と、この基板によって支持される、圧電薄膜ならびに圧電薄膜を厚み方向に挟んで互いに対向するように形成される上電極および下電極とを備える、圧電装置において、圧電薄膜内でのバルク弾性波の散乱を抑制し、圧電特性を改善する。 - 特許庁

To improve piezoelectric characteristics by suppressing the scattering of bulk elastic wave in a thin piezoelectric film in a piezoelectric device utilizing a thickness vertical vibration and including: a board; and the thin piezoelectric film and upper and lower electrodes formed to be mutually opposed by holding the thin piezoelectric film between them in a thickness direction, which are supported by the board.例文帳に追加

基板と、この基板によって支持される、圧電薄膜ならびに圧電薄膜を厚み方向に挟んで互いに対向するように形成される上電極および下電極とを備え、厚み縦振動を利用する、圧電装置において、圧電薄膜内でのバルク弾性波の散乱を抑制し、圧電特性を改善する。 - 特許庁