epi‐illuminationの英語

The image of the rim is acquired by an imaging section, arranged coaxially with the epi-illumination section 60.例文帳に追加

周縁部の像は、落射照明部６０と同軸に配置された撮像部で取得する。 - 特許庁

An edge position measurement value obtained by using transmitted illumination light is lower than that using epi-illumination in uncertainty.例文帳に追加

透過照明光を用いたエッジ位置測定値は、落射照明より不確実性が低い。 - 特許庁

The illumination unit 30 comprises an epi-illumination source 100 and a lateral illumination source 102.例文帳に追加

照明ユニット３０は落射照明源１００と側方照明源１０２をもつ。 - 特許庁

To provide a microscope capable of automatically setting transmitted illumination, epi-illumination, or transmitted epi-illumination even when a connected illuminating device is changed, while minimizing the number of control ports for an illuminating device.例文帳に追加

照明装置の制御ポートを最小限に抑えつつ、接続された照明装置が変更された場合でも自動的に透過照明、落射照明、或いは落射透過照明に設定することのできる顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

It is possible to obtain an epi-illumination function for generating an epi-illumination image indicating a reflected state in the tape 10 and a transmission light illumination function for generating a transmission illumination image indicating transparency distribution in the tape 10 only with one lighting system 4, thus simultaneously acquiring the epi-illumination and transmission illumination images related to one pattern to be inspected.例文帳に追加

テープ１０における反射状態を表す落射照明イメージを生成するための落射光照明の機能と、テープ１０における透明度の分布を表す透過照明イメージを生成するための透過光照明の機能とが、１つの照明装置４だけで得られるので、１つの被検査パターンに関する落射照明イメージ及び透過照明イメージが同時に取得できる。 - 特許庁

The defect on the surface of the coating layer appears on an image as an area darker than its periphery, with coaxial epi-illumination by the illumination part 2A.例文帳に追加

照明部２Ａによる同軸落射照明により、コーティング層の表面の欠陥が画像上に周囲より暗い領域として現れる。 - 特許庁

A method for correcting an epi-illumination image edge position error in a precision machine vision inspection system is disclosed.例文帳に追加

精密マシンビジョン検査システムにおける落射照明画像エッジ位置誤差を補正するための方法が開示される。 - 特許庁

The illumination light of an epi-illumination section 60 is folded by a first mirror 14 and illuminates the rim of the wafer W.例文帳に追加

落射照明部６０の照明光は、第一のミラー１４で折り返されてウェハＷの周縁部を照明する。 - 特許庁