epitaxial films grownとは 意味・読み方・使い方

In a crystal semiconductor substrate 1, on which a thin film 2 made of constituting elements different from those of the semiconductor which is provided with grid-shaped grooves 3 in which the surface of the substrate 1 is exposed, is formed, semiconductor net-shaped films 4 are selectively grown in the grooves by gas phase epitaxial method.例文帳に追加

結晶半導体基体１にこの半導体とは異なる構成元素からなり、かつ前記基体表面が露出する格子状の溝３を有する薄膜２が形成されている基板の、前記溝内に選択的に半導体網状膜４を気相エピタキシャル法で成長させる。 - 特許庁

In the method for fabricating the epitaxial substrate for a gallium nitride-based semiconductor optical element, a semiconductor layer 21 including a plurality of gallium nitride-based semiconductor films for the gallium nitride-based semiconductor optical element is grown by an organic metal vapor-deposition growing method on a substrate 19 disposed on a susceptor 13 in the flow channel 17 while heated using a heater 15, thereby fabricating the epitaxial substrate E1.例文帳に追加

窒化ガリウム系半導体光素子のためのエピタキシャル基板を作製する方法では、ヒータ１５を用いて加熱しながら、フローチャネル１７内のサセプタ１３上に配置された基板１９上に窒化ガリウム系半導体光素子のための複数の窒化ガリウム系半導体膜を含む半導体積層２１を有機金属気相成長法で成長してエピタキシャル基板Ｅ１を作製する。 - 特許庁